[发明专利]一种基片传输装置

权利要求书

1. 一种基片传输装置，其特征在于，包括磁轨（3），悬浮于磁轨（3）上方的承载基片用的基片载体（2），位于基片载体（2）至少一侧的由驱动装置驱动转动的传动轮（1），所述传动轮（1）与基片载体（2）侧壁之间具有间隙；周向装有磁铁（101）的所述传动轮（1）驱动至少一侧面上装有磁铁（202）的所述基片载体（2）沿磁轨（3）的长度方向移动。

2. 根据权利要求1所述的基片传输装置，其特征在于，所述磁轨（3）为两排平行布置的磁体；所述基片载体（2）下侧面设有与磁轨（3）上侧面磁极相同的基片载体底部磁体（201）。

3. 根据权利要求1所述的基片传输装置，其特征在于，所述基片载体（2）两侧面上均设有多个基片载体侧面磁铁（202）。

4. 根据权利要求2所述的基片传输装置，其特征在于，所述磁轨（3）的纵截面呈等腰梯形，所述基片载体底部磁体（201）呈倒U形，所述磁轨（3）与基片载体（2）的U型永磁体对中布置，且倒U形开口两端磁极相同并向内倒角。

5. 根据权利要求3所述的基片传输装置，其特征在于，同一侧面的相邻两个所述基片载体侧面磁铁（202）朝外的磁极相反。

6. 根据权利要求1所述的基片传输装置，其特征在于，所述基片载体（2）两侧均设有传动轮（1），每个传动轮（1）周向设有多个永磁体（101），相邻的两个永磁体（101）朝外的磁极相反，且传动轮（1）上的相邻两个永磁体（101）的展开间距与基片载体（2）侧面相邻两个永磁体（202）的间距相同。

7. 根据权利要求1所述的基片传输装置，其特征在于，所述基片载体（2）两侧均设有多个传动轮（1），每个传动轮（1）与基片载体（2）侧面某相邻两个永磁体（202）之间中点的距离最短。

8. 根据权利要求1~7之一所述的基片传输装置，其特征在于，所述磁轨（3）、基片载体（2）、传动轮（1）均位于一真空腔体内。