[发明专利]振动片、电子装置以及电子设备

说明书

技术领域

本发明涉及一种振动片、电子装置以及电子设备。

背景技术

一直以来，作为压力传感器，已知一种将双音叉型的振动片接合在隔膜上的结构。在这种结构的压力传感器中，通过所施加的压力，振动片和隔膜一起发生变形，并通过对与该变形的程度相对应地发生变化的振动片的共振频率进行测定，从而对被施加在压力传感器上的压力的大小进行检测（例如，参照专利文献1）。

振动片具有一对基部、和对该一对基部进行连结的一对振动臂，在各个振动臂上配置有第一电极片和第二电极片。第一电极片和第二电极片被形成为，在各个振动臂的延伸方向和周向中的每一个方向上交替分布，并且被配置为，在一个振动臂和另一个振动臂上配置相反。已知通过采用这种配置，从而使振动臂的振动效率得到提高的情况。

然而，在专利文献1的振动片中，被配置在位于各个振动臂的两端部处的振动区域（端部区域）内的侧面上的电极片（在一个振动臂上为第一电极片，在另一个振动臂上为第二电极片）的、跃上至主面上的部分的宽度，和被配置在位于振动臂的中央部处的振动区域（中央部区域）内的侧面上的电极片（在一个振动臂上为第二电极片，在另一个振动臂上为第一电极片）的、跃上至主面上的部分的宽度分别被构成为，较为狭窄且大致相等。当采用这种结构时，在制造时（第一、第二电极片的图案形成工序），被配置在端部区域内的侧面上的电极片在振动臂的延伸方向上被分割，从而以此为原因而产生断线。

具体地进行说明，电极片的制造包括：使用光刻法而在被形成于振动臂的表面上的金属膜上形成抗蚀剂图案的工序、和使用蚀刻法而对从抗蚀剂图案中露出的金属膜进行去除的工序。抗蚀剂图案是通过如下方式而形成的，即，向涂敷于金属膜上的正性光刻胶膜照射曝光用光，并通过显影而对照射了曝光用光的部分的光刻胶膜进行去除。虽然也需要对振动臂的侧面（特别是，将各个振动臂的内侧面彼此连接的基部的侧面）实施曝光用光的照射，但此时，被基部的侧面所反射的曝光用光被照射到各个振动臂的端部区域的侧面、主面的与侧面之间的边界部附近这种原本不会照射曝光用光的位置，其结果为，形成一部分不慎发生了缺损的抗蚀剂图案。当使用这种抗蚀剂图案来实施蚀刻时，形成于端部区域的侧面上的电极片将在振动臂的延伸方向上被分割，这种情况将会导致断线。

专利文献1：日本特开2007－171123号公报

发明内容

本发明的目的在于，提供一种能够防止或抑制断线、特别是制造时的断线的振动片、具备该振动片的电子装置及电子设备。

本发明为解决上述问题的至少一部分而完成的，其能够作为以下的方式或应用例而实现。

应用例1

本发明的振动片的特征在于，具有：两个基部，其以分隔的方式而配置；振动臂，其位于两个所述基部之间，且以从一个所述基部朝向另一个所述基部延伸的方式而配置，并对两个所述基部进行连结，所述振动臂具有振动区域，所述振动区域具备位于延伸方向上的两端部侧的一对端部区域、和位于一对所述端部区域之间的中央部区域，在一对所述端部区域和所述中央部区域内，分别配置有从上述振动臂的侧面跃上至与所述侧面相连接的主面上的电极片，并且所述端部区域内的所述主面上的所述电极片的平均宽度，大于所述中央部区域内的所述主面上的所述电极片的平均宽度。

通过设定为这种结构，从而即使例如在电极片的制造时，端部区域的电极片的、被形成于振动臂的侧面上的部分不慎被去除，也由于通过跃上至主面上的端部跃上部而维持了导通，因此能够防止不慎的断线。

应用例2

在本发明的振动片中，优选为，所述端部区域和所述中央部区域内的主面上的所述电极片的宽度沿着所述振动臂的延伸方向为固定。

通过设定为这种结构，从而防止制造工序中的不慎的断线，由此使振动臂的振动较为稳定。

应用例3

在本发明的振动片中，优选为，当将所述端部区域内的主面上的所述电极片的宽度的平均宽度设为W，并将所述振动臂在所述端部区域内的平均宽度设为W’时，满足如下关系，即，0＜W≤W’/6。

通过设定为这种结构，从而能够将振动臂的振动效率维持得足够高，由此能防止制造时的不慎的断线。

应用例4

在本发明的振动片中，优选为，所述主面上的所述电极片的平均宽度在7.5μm以上。

通过设定为这种结构，从而能够更加可靠地防止制造时的不慎的断线。

应用例5

在本发明的振动片中，优选为，所述振动区域通过一对所述端部区域和所述中央部区域这三个区域而构成。