[发明专利]振动片、电子装置以及电子设备有效
申请号: | 201310335021.4 | 申请日: | 2013-08-02 |
公开(公告)号: | CN103575429A | 公开(公告)日: | 2014-02-12 |
发明(设计)人: | 市川想 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | G01L1/10 | 分类号: | G01L1/10 |
代理公司: | 北京金信立方知识产权代理有限公司 11225 | 代理人: | 黄威;苏萌萌 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 振动 电子 装置 以及 电子设备 | ||
1.一种振动片,其特征在于,具有:
两个基部,其以分隔的方式而配置;
振动臂,其位于两个所述基部之间,且以从一个所述基部朝向另一个所述基部延伸的方式而配置,并对两个所述基部进行连结,所述振动臂具有振动区域,所述振动区域具备位于延伸方向上的两端部侧的一对端部区域、和位于一对所述端部区域之间的中央部区域,
在一对所述端部区域和所述中央部区域内,分别配置有从所述振动臂的侧面跃上至与所述侧面相连接的主面上的电极片,并且所述端部区域内的所述主面上的所述电极片的平均宽度,大于所述中央部区域内的所述主面上的所述电极片的平均宽度。
2.如权利要求1所述的振动片,其特征在于,
所述端部区域和所述中央部区域内的主面上的所述电极片的宽度沿着所述振动臂的延伸方向为固定。
3.如权利要求1或2所述的振动片,其特征在于,
当将所述端部区域内的主面上的、所述电极片的宽度的平均宽度设为W,并将所述振动臂在所述端部区域内的平均宽度设为W’时,满足如下的关系,即,0<W≤W’/6。
4.如权利要求1或2所述的振动片,其特征在于,
所述主面上的所述电极片的平均宽度在7.5μm以上。
5.如权利要求1或2所述的振动片,其特征在于,
所述振动区域通过一对所述端部区域和所述中央部区域这三个区域而构成。
6.一种电子装置,其特征在于,
具备如下的振动片,
所述振动片具有:
两个基部,其以分隔的方式而配置;
振动臂,其位于两个所述基部之间,且以从一个所述基部朝向另一个所述基部延伸的方式而配置,并对两个所述基部进行连结,所述振动臂具有振动区域,所述振动区域具备位于延伸方向上的两端部侧的一对端部区域、和位于一对所述端部区域之间的中央部区域,
在一对所述端部区域和所述中央部区域内,分别配置有从所述振动臂的侧面跃上至与所述侧面相连接的主面上的电极片,并且所述端部区域内的所述主面上的所述电极片的平均宽度,大于所述中央部区域内的所述主面上的所述电极片的平均宽度。
7.如权利要求6所述的电子装置,其中,
所述电子设备为如下的压力检测元件,
所述压力检测元件包括:
隔膜层,其具有隔膜;
所述振动片,其被固定在所述隔膜上。
8.一种电子设备,其特征在于,
具备如下的振动片,
所述振动片具有:
两个基部,其以分隔的方式而配置;
振动臂,其位于两个所述基部之间,且以从一个所述基部朝向另一个所述基部延伸的方式而配置,并对两个所述基部进行连结,所述振动臂具有振动区域,所述振动区域具备位于延伸方向上的两端部侧的一对端部区域、和位于一对所述端部区域之间的中央部区域,
在一对所述端部区域和所述中央部区域内,分别配置有从所述振动臂的侧面跃上至与所述侧面相连接的主面上的电极片,并且所述端部区域内的所述主面上的所述电极片的平均宽度,大于所述中央部区域内的所述主面上的所述电极片的平均宽度。
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