[发明专利]一种制造彩色滤光片的方法和彩色滤光片

说明书

技术领域

本发明涉及彩色滤光片的制造领域，特别是指一种制造彩色滤光片的方法和彩色滤光片。

背景技术

CF(Color Filter)的现有生产工艺中，在制作BM（黑矩阵）、R（红色滤色膜）、G（绿色滤色膜）、B（蓝色滤色膜）、PS（隔垫物）的过程中，均需Exposure曝光工艺，通过Mask掩模板以近接式曝光形式将PR光刻胶曝出所需要的Pattern图案。在曝光工艺中，需要将Mask掩模板上的Mask Alignment Mark对准记号与基板上的Glass Alignment Mark对准记号（由BM黑矩阵工艺制作）进行准确的对位后，才可以保证Pattern图案的正确曝光。

如图1所示，为现有技术中，掩模板与玻璃基板的对位示意图，在制作小尺寸Panel面板时，由于面板与面板之间存在白玻璃区域，因此可以将对准记号1制作在基板的白玻璃区域，以便掩模板与玻璃基板的对位。

但是，在制作大尺寸面板时，由于需要进行多次拼接，没有相应的白玻璃区域来放置对准记号。

发明内容

本发明提供一种制造彩色滤光片的方法和彩色滤光片，能够用于大面板的彩色滤光片的制造。

一方面，提供一种制造彩色滤光片的方法，包括：

提供一玻璃基板；

在所述玻璃基板上设置一层黑矩阵材料；

对所述黑矩阵材料进行曝光，形成第一基板图案层，所述第一基板图案层包括：黑矩阵、对准记号以及像素开口区；其中，所述玻璃基板上未被黑矩阵覆盖的地方形成所述像素开口区，所述对准记号位于所述像素开口区内。

所述的制造彩色滤光片的方法，还包括：

根据所述对准记号，进行第一曝光显影工艺，在所述玻璃基板的第一基板图案层上形成彩色滤色膜层。

所述根据所述对准记号，进行第一曝光显影工艺，在所述玻璃基板的第一基板图案层上形成彩色滤色膜层的步骤包括：

在所述第一基板图案层上涂覆第一层光刻胶；

根据所述对准记号，将第一掩模板对准放置在涂覆有所述第一层光刻胶的所述玻璃基板上，进行第一曝光显影步骤，在所述玻璃基板的第一基板图案层上形成第一彩色滤色膜层；

在所述第一基板图案层上涂覆第二层光刻胶；

根据所述对准记号，将第二掩模板对准放置在涂覆有所述第二层光刻胶的所述玻璃基板上，进行第二曝光显影步骤，在所述玻璃基板的第一基板图案层上形成第二彩色滤色膜层；

在所述第一基板图案层上涂覆第三层光刻胶；

根据所述对准记号，将第三掩模板对准放置在涂覆有所述第三层光刻胶的所述玻璃基板上，进行第三曝光显影步骤，在所述玻璃基板的第一基板图案层上形成第三彩色滤色膜层。

所述第一彩色滤色膜层、第二彩色滤色膜层、第三彩色滤色膜层分别为红色滤色膜层、绿色滤色膜层和蓝色滤色膜层；

所述第一彩色滤色膜层、第二彩色滤色膜层、第三彩色滤色膜层分别为红色滤色膜层、蓝色滤色膜层和绿色滤色膜层；

所述第一彩色滤色膜层、第二彩色滤色膜层、第三彩色滤色膜层分别为蓝色滤色膜层、红色滤色膜层和绿色滤色膜层；

所述第一彩色滤色膜层、第二彩色滤色膜层、第三彩色滤色膜层分别为蓝色滤色膜层、绿色滤色膜层和红色滤色膜层；

所述第一彩色滤色膜层、第二彩色滤色膜层、第三彩色滤色膜层分别为绿色滤色膜层、红色滤色膜层和蓝色滤色膜层；或

所述第一彩色滤色膜层、第二彩色滤色膜层、第三彩色滤色膜层分别为绿色滤色膜层、蓝色滤色膜层和红色滤色膜层。

所述的制造彩色滤光片的方法，还包括：

在所述彩色滤色膜层上涂覆第四层光刻胶；

根据所述对准记号，将第四掩模板对准放置在涂覆有所述第四层光刻胶的所述玻璃基板上，进行第二曝光显影工艺，在所述玻璃基板的所述彩色滤色膜层上形成隔垫物PS图案。

另一方面，提供一种彩色滤光片，包括玻璃基板，所述玻璃基板上设置有第一基板图案层，所述第一基板图案层的像素开口区内设置有对准记号。

所述对准记号为面积小于或等于2500平方微米的图形，所述图形为矩形、圆形、三角形或多边形中的任意一种。

所述对准记号为边长小于或等于50微米的正方形。

所述第一基板图案层还包括：黑矩阵，所述玻璃基板上未被所述黑矩阵覆盖的地方形成所述像素开口区。

所述第一基板图案层上设置有彩色滤色膜层。

所述彩色滤色膜层上设置有隔垫物PS图案层。

本发明的上述技术方案的有益效果如下：