[发明专利]一种制造彩色滤光片的方法和彩色滤光片无效
| 申请号: | 201310328955.5 | 申请日: | 2013-07-31 | 
| 公开(公告)号: | CN103389533A | 公开(公告)日: | 2013-11-13 | 
| 发明(设计)人: | 肖洋;齐勤瑞;许志军;王恒英 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 | 
| 主分类号: | G02B5/20 | 分类号: | G02B5/20;G03F7/00;G03F9/00 | 
| 代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 黄灿;程美琼 | 
| 地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 | 
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 制造 彩色 滤光 方法 | ||
1.一种制造彩色滤光片的方法,其特征在于,包括:
提供一玻璃基板;
在所述玻璃基板上设置一层黑矩阵材料;
对所述黑矩阵材料进行曝光,形成第一基板图案层,所述第一基板图案层包括:黑矩阵、对准记号以及像素开口区;其中,所述玻璃基板上未被黑矩阵覆盖的地方形成所述像素开口区,所述对准记号位于所述像素开口区内。
2.根据权利要求1所述的制造彩色滤光片的方法,其特征在于,还包括:
根据所述对准记号,进行第一曝光显影工艺,在所述玻璃基板的第一基板图案层上形成彩色滤色膜层。
3.根据权利要求2所述的制造彩色滤光片的方法,其特征在于,所述根据所述对准记号,进行第一曝光显影工艺,在所述玻璃基板的第一基板图案层上形成彩色滤色膜层的步骤包括:
在所述第一基板图案层上涂覆第一层光刻胶;
根据所述对准记号,将第一掩模板对准放置在涂覆有所述第一层光刻胶的所述玻璃基板上,进行第一曝光显影步骤,在所述玻璃基板的第一基板图案层上形成第一彩色滤色膜层;
在所述第一基板图案层上涂覆第二层光刻胶;
根据所述对准记号,将第二掩模板对准放置在涂覆有所述第二层光刻胶的所述玻璃基板上,进行第二曝光显影步骤,在所述玻璃基板的第一基板图案层上形成第二彩色滤色膜层;
在所述第一基板图案层上涂覆第三层光刻胶;
根据所述对准记号,将第三掩模板对准放置在涂覆有所述第三层光刻胶的所述玻璃基板上,进行第三曝光显影步骤,在所述玻璃基板的第一基板图案层上形成第三彩色滤色膜层。
4.根据权利要求3所述的制造彩色滤光片的方法,其特征在于,
所述第一彩色滤色膜层、第二彩色滤色膜层、第三彩色滤色膜层分别为红色滤色膜层、绿色滤色膜层和蓝色滤色膜层;
所述第一彩色滤色膜层、第二彩色滤色膜层、第三彩色滤色膜层分别为红色滤色膜层、蓝色滤色膜层和绿色滤色膜层;
所述第一彩色滤色膜层、第二彩色滤色膜层、第三彩色滤色膜层分别为蓝色滤色膜层、红色滤色膜层和绿色滤色膜层;
所述第一彩色滤色膜层、第二彩色滤色膜层、第三彩色滤色膜层分别为蓝色滤色膜层、绿色滤色膜层和红色滤色膜层;
所述第一彩色滤色膜层、第二彩色滤色膜层、第三彩色滤色膜层分别为绿色滤色膜层、红色滤色膜层和蓝色滤色膜层;或
所述第一彩色滤色膜层、第二彩色滤色膜层、第三彩色滤色膜层分别为绿色滤色膜层、蓝色滤色膜层和红色滤色膜层。
5.根据权利要求3所述的制造彩色滤光片的方法,其特征在于,还包括:
在所述彩色滤色膜层上涂覆第四层光刻胶;
根据所述对准记号,将第四掩模板对准放置在涂覆有所述第四层光刻胶的所述玻璃基板上,进行第二曝光显影工艺,在所述玻璃基板的所述彩色滤色膜层上形成隔垫物PS图案。
6.一种彩色滤光片,其特征在于,包括玻璃基板,所述玻璃基板上设置有第一基板图案层,所述第一基板图案层的像素开口区内设置有对准记号。
7.根据权利要求6所述的彩色滤光片,其特征在于,所述对准记号为面积小于或等于2500平方微米的图形,所述图形为矩形、圆形、三角形或多边形中的任意一种。
8.根据权利要求7所述的彩色滤光片,其特征在于,所述对准记号为边长小于或等于50微米的正方形。
9.根据权利要求6所述的彩色滤光片,其特征在于,所述第一基板图案层还包括:黑矩阵,所述玻璃基板上未被所述黑矩阵覆盖的地方形成所述像素开口区。
10.根据权利要求6所述的彩色滤光片,其特征在于,所述第一基板图案层上设置有彩色滤色膜层。
11.根据权利要求10所述的彩色滤光片,其特征在于,所述彩色滤色膜层上设置有隔垫物PS图案层。
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