[发明专利]化学气相沉积炉

说明书

技术领域

本发明涉及一种热处理设备，尤其涉及一种化学气相沉积炉。

背景技术

目前应用到化学气相沉积的设备主要采用中部出炉或者上部出炉。例如，于2011年12月7日授权公告的中国专利CN202063992U公开了一种化学气相沉积炉，其中炉本体中的上炉体外一侧与炉体提升机构连接而炉盖的上端与设置在上炉体侧面的炉盖提升机构连接，由于炉本体采用炉盖、上炉体、下炉体、炉底结构，故这种化学气相沉积炉为中部开炉方式，该种中部开炉方式的炉体结构对于出装料均不方便，操作难度大，且安全危险性高。此外，上炉体以及炉盖在反复拆装的过程中容易导致炉体相互错位。

此外，化学气相沉积炉一般的使用的温度都比较高，且使用过程中一般会存在两个不同的热场，一个为熔料热场也就是所说的坩埚区域，一个为沉积热场，即沉积区。化学气相沉积的工艺决定了化学气相沉积炉有两个不同的热场，且温度比较高，这对确保炉内的稳定的热场并同时保证其高温工作安全性提出了挑战。因此，某些群体会赏识在化学气相沉积炉上的进一步改进。

发明内容

鉴于背景技术中存在的问题，本发明的目的在于提供一种化学气相沉积炉，其便于出装料、操作容易、操作安全。

本发明的另一目的在于提供一种化学气相沉积炉，其能够避免在反复拆装的过程中炉体的相互错位。

本发明的再一目的在于提供一种化学气相沉积炉，其能够确保炉内的稳定的热场并同时提高了高温工作安全性。

为了实现上述目的，本发明提供了一种化学气相沉积炉，其包括：炉体；上炉盖，设置在炉体上部，与炉体密封且可拆装式固定连接；下炉盖，设置在炉体下部，与炉体密封可拆装式固定连接；以及下炉盖升降机构，与下炉盖固定连接，以使下炉盖在脱开固定的炉体后带动下炉盖降落以进行下出料、以及带动出料后的下炉盖上升以与炉体结合。

优选地，所述化学气相沉积炉还可包括：前后推送机构，设置于下炉盖的正下方，前后推送机构使下炉盖升降机构带动下降的下炉盖落在其上并前后移动到至外围，以进行出装料。

优选地，炉体包括炉体壳、水冷夹层、保温层、保温层固定壳；上炉盖包括上炉盖壳、水冷夹层、保温层、保温层固定壳；以及下炉盖包括下炉盖壳、水冷夹层、保温层、保温层固定壳。

本发明的有益效果如下：

采用底部出炉的方式，能够避免在反复拆装的过程中炉体的相互错位；

地面设有前后推送机构，将下炉盖采用前后推送机构移至外围，进行出装料，安全、可靠，操作方便。

炉体、上炉盖、下炉盖均可采用水冷夹层、保温层，能够确保炉内的稳定的热场并同时提高了高温工作安全性。

附图说明

图1为根据本发明的化学气相沉积炉的立体图；

图2为炉体的炉体壳、水冷夹层、保温层、保温层固定壳的示意图；

图3为上炉盖的上炉盖壳、水冷夹层、保温层、保温层固定壳的示意图；

图4为下炉盖的下炉盖壳、水冷夹层、保温层、保温层固定壳的示意图；

图5为各加热区的三个加热器的分布示意图。

其中，附图标记说明如下：

1炉体                             5下炉盖升降机构

11炉体壳                          51驱动器

12水冷夹层                        52滚珠丝杆

13保温层                          53导块

14保温层固定壳                    54十字换向器

15加热器                          55固定架

16水冷电极                        551位置调整块

2上炉盖                           56连杆

21吊耳                            57减速机

22上炉盖壳                        58导向机构

23水冷夹层                        581导轨

24保温层                          582滑块

25保温层固定壳                    583止挡块

26尾气出口                        59换向器