[发明专利]化学气相沉积炉

权利要求书

1.一种化学气相沉积炉，包括：

炉体（1）；

上炉盖（2），设置在炉体（1）上部，与炉体（1）密封且可拆装式固定连接；以及

下炉盖（3），设置在炉体（1）下部，与炉体（1）密封可拆装式固定连接；

其特征在于，所述化学气相沉积炉还包括：

下炉盖升降机构（5），与下炉盖（3）固定连接，以使下炉盖（3）在脱开固定的炉体（1）后带动下炉盖（3）降落以进行下出料、以及带动出料后的下炉盖（3）上升以与炉体（1）结合。

2.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉，其特征在于，

炉体（1）包括炉体壳（11）、水冷夹层（12）、保温层（13）、保温层固定壳（14）；

上炉盖（2）包括上炉盖壳（22）、水冷夹层（23）、保温层（24）、保温层固定壳（25）；以及

下炉盖（3）包括下炉盖壳（31）、水冷夹层（32）、保温层（33）、保温层固定壳（34）。

3.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉，其特征在于，下炉盖（3）与炉体（1）之间的可拆装式固定连接采用液压夹具（7）实现。

4.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉，其特征在于，

所述化学气相沉积炉还包括支撑架（4），支撑架（4）包括：

两个侧支架（41），设置于炉体（1）相反两侧，各侧支架（41）包括：一横梁（411）：以及至少两个立柱（412），固定连接于该横梁（411）；以及

两个连接梁（42），连接在两个侧支架（41）的横梁（411）之间；其中，两个侧支架（41）的横梁（411）和两个连接梁（42）形成上支架；下炉盖升降机构（5）包括：

驱动器（51），设置于所述上支架；

至少两个滚珠丝杆（52）；

至少两个导块（53），各导块（53）使相应的滚珠丝杆（52）穿设且与相应的丝杆螺母固定连接以与滚珠丝杆（52）形成传动连接，各导块（53）固定连接于下炉盖（3）；

至少两个十字换向器（54），设置在所述上支架上，连接驱动器（51）和相应滚珠丝杆（52）的一端；

至少两个固定架（55），固定连接于相应滚珠丝杆（52）的另一端；以及

至少两个连杆（56），设置在所述上支架上且连接驱动器（51）、相应的十字换向器（54），以及相应的滚珠丝杆（52）。

5.根据权利要求4所述的化学气相沉积炉，其特征在于，下炉盖升降机构（5）还包括：

减速机（57），与驱动器（51）连接，以调整驱动器（51）的输出；以及

换向器（59），设置于所述上支架上且与减速机（57）连接，并与对应的连杆（56）连接。

6.根据权利要求4所述的化学气相沉积炉，其特征在于，下炉盖升降机构（5）还包括导向机构（58），导向机构（58）包括：

导轨（581），设置在对应的立柱（42）上；以及

滑块（582），设置在对应的导轨（581）上并与该对应的导轨（581）滑动连接、且与对应的导块（53）固定连接。

7.根据权利要求4所述的化学气相沉积炉，其特征在于，炉体（1）分为上加热区和下加热区，以便于控制不同部位的温度，各加热区设有三个加热器（15），各加热区的三个加热器（15）以等分360度圆布置。

8.根据权利要求7所述的化学气相沉积炉，其特征在于，各加热器（15）连接两个水冷电极（16），水冷电极（16）为水冷铜电极，对应的两个水冷电极（16）连接于变压器，变压器安装在所述上支架上。

9.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉，其特征在于，化学气相沉积炉还包括：

前后推送机构（6），设置于下炉盖（3）的正下方，前后推送机构（6）使下炉盖升降机构（5）带动下降的下炉盖（3）落在其上并前后移动到至外围，以进行出装料。

10.根据权利要求9所述的化学气相沉积炉，其特征在于，

下炉盖（3）下方安装有多个滚轮（35）以及卡扣部（36）；

前后推送机构（6）包括：

底座（61）；

导轨（62），设置于底座（61）上，在下炉盖（3）下方的相应滚轮（35）落到导轨（62）上时，滚轮（35）跨在导轨（62）上并沿导轨（62）滚动运动；

驱动器（63），设置于底座（61）上；

滚珠丝杆（64），一端连接于驱动器（63）而另一端可转动地连接于底座（61）；以及

丝杆螺母（65），与滚珠丝杆（64）形成传动连接，当下炉盖（3）下方的滚轮（35）跨在相应导轨（62）上时，下炉盖（3）下方的卡扣部（36）与丝杆螺母（65）卡扣结合。