[发明专利]抗蚀剂剥离剂在审
| 申请号： | 201310306724.4 | 申请日： | 2013-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN103425003A | 公开（公告）日： | 2013-12-04 |
| 发明（设计）人： | 杨桂望 | 申请（专利权）人： | 杨桂望 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266000 山东省青岛*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 抗蚀剂 剥离 | ||
1.一种光致抗蚀膜剥离剂组合物，其特征在于：包括有机胺，二甘醇单烷基醚，非质子极性溶剂N，N-二甲基乙酰胺，缓蚀剂和水。
2.如权利要求1所述的光致抗蚀膜剥离剂组合物，其特征在于：所述缓蚀剂由六亚甲基四胺、1,4-丁炔二醇、十二烷基苯磺酸钠、咪唑和水组成。
3.如权利要求1或2所述的光致抗蚀膜剥离剂组合物，其特征在于：所述缓蚀剂中各组分的重量百分比分别为六亚甲基四胺10%、1,4-丁炔二醇8%、十二烷基苯磺酸钠0.6%、咪唑0.4%和81%水。
4.如权利要求1至3所述的光致抗蚀膜剥离剂组合物，其特征在于：所述有机胺10重量份～50重量份，所述二甘醇单烷基醚40重量份～80重量份，所述非质子极性溶剂N，N-二甲基乙酰胺10重量份～25重量份，所述缓蚀剂20重量份～28重量份，所述水20重量份～30重量份。
5.如权利要求1至4所述的光致抗蚀膜剥离剂组合物，其特征在于：所述的有机胺为单乙醇胺、乙二胺、2-(2-氨基乙氧基)乙醇、羟乙基乙二胺、二乙醇胺、氨基双丙胺、2-甲氨基乙醇、三乙氨基乙醇。
6.如权利要求1至5所述的光致抗蚀膜剥离剂组合物，其特征在于：所述二甘醇单烷基醚为通式HOCH2CH2-O-CH2CH2-O-R1表示的结构，其中，R1是碳原子数为1-8的烷基。
7.如权利要求1至6所述的光致抗蚀膜剥离剂组合物，其特征在于：缓蚀剂的制备方法具体为：
将六亚甲基四胺、1,4-丁炔二醇、十二烷基苯磺酸钠、咪唑和水按照重量百分比混合，搅拌3～5小时，获得缓蚀剂。
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