[发明专利]三氯硅烷制造装置及三氯硅烷的制造方法

权利要求书

1.一种三氯硅烷制造装置，其将含有高沸点氯硅烷类的聚合物分解并制造三氯硅烷，其中，所述高沸点氯硅烷类在多晶硅制造工艺、三氯硅烷制造工艺或转换工艺中产生，所述三氯硅烷制造装置设有

使所述聚合物和氯化氢在高温下反应并生成三氯硅烷的分解炉、

加热所述分解炉的内部的加热装置、

沿所述分解炉的上下方向将所述聚合物和所述氯化氢引导至内底部并使其从下端开口部供给至分解炉内的原料供给管、

在所述原料供给管的外周面和所述分解炉的内周面之间形成的反应室、

以及从所述反应室的上部导出反应气体的气体导出管，

在所述原料供给管的外周面或所述分解炉的内周面的至少一者上一体地形成有翅片，所述翅片一边混合从所述原料供给管的下端开口部供给的所述聚合物和所述氯化氢一边引导所述聚合物和所述氯化氢上升。

2.根据权利要求1所述的三氯硅烷制造装置，其特征在于，所述原料供给管沿所述分解炉的中心轴笔直地设置。

3.根据权利要求1或2所述的三氯硅烷制造装置，其特征在于，在突出至所述分解炉的外侧的所述原料供给管的上部分别连接有聚合物供给系和氯化氢供给系，在原料供给管的内部，具有第2翅片的搅拌部件设置成插入状态。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的三氯硅烷制造装置，其特征在于，所述气体导出管设置成在所述分解炉的外侧包围所述原料供给管的周围的二重管状。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的三氯硅烷制造装置，其特征在于，在所述分解炉内，设有将加压气体注入所述分解炉内的加压气体注入管以及排出被所述加压气体逐出的炉内流体的炉内流体排出管。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的三氯硅烷制造装置，其特征在于，在所述分解炉的内底部设有多个球状的转动部件。

7.一种三氯硅烷制造方法，其将含有高沸点氯硅烷类的聚合物和氯化氢导入分解炉内，通过在高温下使其反应，从而将所述聚合物分解并制造三氯硅烷，其中，所述高沸点氯硅烷类在多晶硅制造工艺、三氯硅烷制造工艺或转换工艺中产生，在所述三氯硅烷制造方法中，

事先加热所述分解炉，从所述分解炉的上部供给所述聚合物和所述氯化氢，通过将所述聚合物和所述氯化氢预热，从而使所述聚合物和所述氯化氢气化并将其引导至所述分解炉的内底部，从所述内底部一边搅拌所述聚合物和所述氯化氢的混合流体一边使其在所述分解炉内上升并进行反应。