[发明专利]沉积设备、制造有机发光显示设备的方法及显示设备

说明书

本申请要求于2012年7月16日提交到韩国知识产权局的第10-2012-0077361号韩国专利申请的优先权和权益，该韩国专利申请的公开通过引用被完全包含于此。

技术领域

本发明涉及一种有机层沉积设备、利用该有机层沉积设备制造有机发光显示设备的方法以及由该方法制造的有机发光显示设备。

背景技术

有机发光显示装置具有比其它显示装置更宽的视角、更好的对比度特性和更快的响应速度，因此已经作为下一代显示装置而受到关注。

有机发光显示装置包括设置在第一电极和第二电极之间的中间层（包括发射层）。可以利用各种方法来形成所述电极和中间层，这些方法之一是独立的沉积方法。当通过利用沉积方法制造有机发光显示装置时，将具有与将要形成的有机层的图案相同的图案的精细金属掩模（FMM）通常设置为与其上将形成有机层等的基底紧密接触，将有机层材料沉积在FMM上，以形成具有期望图案的有机层。

然而，利用这种FMM的沉积方法在利用大的母玻璃制造较大的有机发光显示装置时存在困难。例如，当使用这种大的掩模时，掩模会由于自身重力而弯曲，从而使图案扭曲。考虑到朝着高分辨率图案发展的近期趋势，这种缺点可能使得FMM方法不合需要。

另外，将基底与FMM对准以彼此紧密接触的工艺、在基底上执行沉积的工艺以及将FMM与基底分开的工艺耗费时间，导致制造时间长并且生产效率低。

在本背景技术部分公开的信息对于本发明的发明人来说在实现本发明之前是已知的，或者所述信息是在实现本发明的过程中获取的技术信息。因此，它可能包含在本发明人完成本发明的时间以前对于本领域普通技术人员来说在本国不构成已知的现有技术或信息的信息。

发明内容

本发明的实施例提供一种适用于在大基底上大规模生产有机发光显示设备并能实现高分辨率的图案化的有机层沉积设备。还提供了一种通过使用有机层沉积设备制造有机发光显示设备的方法，以及通过该方法制造的有机发光显示设备。

一种有机层沉积设备，所述有机层沉积设备包括：输送器单元，包括用于附着基底并且被构造为与所述基底一起移动的传送单元、用于将附着有基底的传送单元沿着第一方向移动的第一输送器单元和用于在已经完成沉积之后将基底从其分开的传送单元沿着与第一方向相反的方向移动的第二输送器单元；以及沉积单元，包括被构造为保持在真空状态下的室以及用于将有机层沉积在附着到传送单元的基底上的有机层沉积组件。有机层沉积组件包括：沉积源，用于排放沉积材料；沉积源喷嘴单元，在沉积源的一侧并包括多个沉积源喷嘴；图案化缝隙片，面对沉积源喷嘴单元并包括沿第一方向布置的多个图案化缝隙；以及沉积源快门，能够沿第一方向移动并被构造为选择性地阻挡在沉积源中蒸发的沉积材料。传送单元被构造为在第一输送器单元和第二输送器单元之间移动，并被构造为使附着的基底在被第一输送器单元传送的同时与有机层沉积组件分隔开。

有机层沉积组件还可包括角度限定板，角度限定板在沉积源的一侧以引导在沉积源中蒸发的沉积材料的流路径。

角度限定板可以围绕沉积源的一部分。

沉积源快门可包括具有平板形状的第一沉积源快门和第二沉积源快门，沉积源可由于第一沉积源快门和第二沉积源快门的移动而打开或关闭。

沉积源快门可包括第一沉积源快门和第二沉积源快门，第一沉积源快门和第二沉积源快门中的每个可包括平板部分和从平板部分弯曲的倾斜部分。

槽可以在倾斜部分的一端并对应于所述多个沉积源喷嘴中的一个。

倾斜部分可被构造为引导在沉积源中蒸发的沉积材料的流路径。

沉积源可由于第一沉积源快门和第二沉积源快门的移动而打开或关闭。

所述有机层沉积设备还可包括控制传感器，控制传感器在沉积源的一侧，以测量在沉积源中蒸发的沉积材料的沉积速率。

控制传感器可被构造为在传送单元与基底一起移动的同时测量沉积材料的沉积速率，可利用沉积速率来控制在沉积源中蒸发的沉积材料的蒸发量。

可控制由控制传感器测量的沉积源的沉积速率，从而以目标厚度在基底上沉积沉积材料。

第一输送器单元和第二输送器单元可穿过沉积单元。

第一输送器单元和第二输送器单元可以平行地布置在彼此上方。

有机层沉积设备还可包括：加载单元，用于将基底附着到传送单元；以及卸载单元，用于将在穿过沉积单元的同时已经对其完成了沉积的基底与传送单元分开。

第一输送器单元可被构造为将传送单元顺序地传递至加载单元、沉积单元和卸载单元。