[发明专利]用于支撑和对准组件的方法及支撑装置

权利要求书

1.一种用于安装和对准组件的方法，所述组件在多个支撑点(1)以期望定向被支撑在支撑装置(2)内，其中，所述支撑装置(2)的至少一个变形区(36)的弹性变形被记录，并且根据所述至少一个变形区(36)与期望值的某一偏差，使所述至少一个支撑点(1)垂直于所述组件的支撑平面移动。

2.一种用于以期望定向安装和对准组件的支撑装置(2)，其具有至少两个轴承支撑件(10)、至少两个轴承头单元(4)和至少两个轴承头接收单元(6)以形成至少两个支撑点，其中轴承头单元(4)或者轴承头接收单元(6)被布置在轴承支撑件(10)上，其特征在于，所述支撑装置(2)具有至少一个变形区(36)，其在轴承头单元(4)与轴承头接收单元(6)主动接合的过程中可弹性地变形，并且，所述支撑装置(2)具有至少一个测量装置用于记录和评估所述至少一个变形区(36)的弹性变形，以及至少一个致动器，用于使所述支撑点(1)彼此垂直于所述组件的支撑平面移动。

3.根据权利要求2所述的支撑装置，其中，所述变形区(36)为所述轴承头接收单元(6)的主体区域。

4.根据权利要求2或3所述的支撑装置，其中，所述至少一个变形区(36)与安装轴线(L)同心地定向。

5.根据权利要求2、3或4所述的支撑装置，其中，所述至少一个变形区(36)具有径向外侧的弹性部分(38)，其被支撑在所述轴承头接收单元(6)的抗变形侧壁(26)上，以及径向内侧的测量部分(40)，其从弹性部分(38)延伸并且测量装置的测量传感器(16)被夹紧在所述弹性部分和所述测量部分之间。

6.根据权利要求5所述的支撑装置，其中，所述测量传感器(16)为薄膜测量传感器、厚膜测量传感器或压电元件。

7.根据权利要求5或6所述的支撑装置，其中，所述轴承头接收单元(6)具有用于容纳轴承头接收元件(20)的圆柱形壁(22)，其在测量部分(40)的安装轴线(L)的方向延伸并被弹性部分(38)包围。

8.根据权利要求7所述的支撑装置，其中，所述轴承头接收元件(20)在径向方向上被安装到所述圆柱形壁(22)上。

9.根据权利要求8所述的支撑装置，其中，所述轴承头接收元件(20)具有球形插口(54)并且所述轴承头单元(4)具有球形头。

10.根据权利要求5到9中任一项所述的支撑装置，其中致动器、弹性变形区(36)和测量传感器(16)被分配到每个支撑点(1)。