[发明专利]一种氧化锌和/或氧化锌合金的湿法刻蚀方法有效
| 申请号： | 201310295575.6 | 申请日： | 2013-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN103382557A | 公开（公告）日： | 2013-11-06 |
| 发明（设计）人： | 王玉超;汤子康;吴天准;张权林;苏龙兴;陈明明;祝渊 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | C23F1/02 | 分类号： | C23F1/02;C23F1/14;H01L33/00 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 谢敏楠 |
| 地址： | 510275 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 氧化锌 氧化 锌合金 湿法 刻蚀 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种氧化锌和/或氧化锌合金的湿法刻蚀方法，其特征在于，采用过氧化氢溶液作为刻蚀剂进行刻蚀。
2.如权利要求1所述的刻蚀方法，其特征在于，所述的过氧化氢溶液的浓度为v/v 5%-30%。
3.如权利要求1所述的刻蚀方法，其特征在于，所述的过氧化氢溶液的浓度为v/v 18%-22%。
4.如权利要求1所述的刻蚀方法，其特征在于，所述的过氧化氢溶液的浓度为v/v 20%。
5.如权利要求1所述的刻蚀方法，其特征在于，所述的氧化锌合金为MgZnO或BeZnO。
6.如权利要求1所述的刻蚀方法，其特征在于，所述的刻蚀温度为20-45oC。
7.如权利要求1所述的刻蚀方法，其特征在于，先在氧化锌和/或氧化锌合金表面覆盖掩膜，然后再采用过氧化氢溶液作为刻蚀剂进行刻蚀，从而形成目标图案。
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