[发明专利]波长可变干涉滤波器、滤光器设备、光模块及电子设备

说明书

技术领域

本发明涉及波长可变干涉滤波器、滤光器设备、光模块、电子设备以及波长可变干涉滤波器的制造方法。

背景技术

以往，公知有如下的波长可变干涉滤波器：在通过相互对向的两个反射膜取出规定的目标波长的光的波长可变干涉滤波器中，使两个反射膜间间隙尺寸变化，以使取出的光的波长变化。

例如，在专利文献1中记载有如下的波长可变干涉滤波器：在两个光学基板的相对的面上形成一对电容电极，基于一对电容电极的检测电容（静电电容）控制致动器，以使光学基板间隔成为规定的目标间隔。在专利文献1中记载的波长可变干涉滤波器中，在与形成有一对电容电极的基板面相同的面上，分别形成有反射层（反射膜）。并且，通过光学基板间隔的调整来调整在反射膜间通过多重干涉而增强的光的波长，并选择性地使光透过。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2002-277758号公报

在专利文献1的波长可变干涉滤波器中，由于在光学基板的相同的面上形成有反射膜和电容电极，因此基于与电容电极间间隙的间隙量相对应的检测电容，从而可以算出反射膜间间隙的间隙量。

静电电容的值与间隙量的值之间具有反比例的关系，如果除作为常数的介电常数，则能够对应于静电电容测定器的输入范围而设计的参数仅为电容电极的有效面积。在专利文献1的波长可变干涉滤波器中，由于能够设计的参数是一个（电容电极的有效面积），因此难以设计对应于反射膜的驱动范围和静电电容测定器的输入范围的电容特性。

近年来，使反射膜间间隙的间隙量控制的精度提高成为课题，但是在专利文献1的波长可变干涉滤波器中，由于能够设计的参数是一个，因此电容特性的设计的自由度低，解决该课题并不容易。

发明内容

本发明的目的在于提供能够设计的参数为多个、担保电容特性的设计的自由度、能够使反射膜间间隙的间隙量控制的精度提高的波长可变干涉滤波器、具备上述波长可变干涉滤波器的滤光器设备、具备所述波长可变干涉滤波器的光模块、以及具备该光模块的电子设备，并且提供上述波长可变干涉滤波器的制造方法。

本发明的波长可变干涉滤波器具备：第一基板；第二基板，与所述第一基板相对配置；第一反射膜，设置在所述第一基板上，所述第一反射膜将入射的光的一部分反射并使一部分透过；第二反射膜，设置在所述第二基板上，所述第二反射膜将入射的光的一部分反射并使一部分透过，隔着相对于所述第一反射膜的表面间的距离、即反射膜间间隙而与所述第一反射膜相对配置；第一驱动电极，设置在所述第一基板上；第二驱动电极，设置在所述第二基板上，隔着相对于所述第一驱动电极的表面间的距离、即驱动电极间间隙而与所述第一驱动电极相对配置；第一电容检测电极，设置在所述第一基板上；以及第二电容检测电极，设置在所述第二基板上，隔着相对于所述第一电容检测电极的表面间的距离、即电容检测电极间间隙而与所述第一电容检测电极相对配置，所述第一电容检测电极以及所述第二电容检测电极是用于测定所述第一电容检测电极以及所述第二电容检测电极间的静电电容的静电电容检测用电极，通过所述第一驱动电极以及所述第二驱动电极构成使所述反射膜间间隙的间隙量变更的间隙量变更部，所述反射膜间间隙、所述驱动电极间间隙和所述电容检测电极间间隙是相互不同的间隙量。

在本发明中，反射膜间间隙、驱动电极间间隙和电容检测电极间间隙是相互不同的间隙量。因此，在本发明中，不仅能够设计静电电容检测用电极的有效面积，而且还能够与反射膜间间隙独立地设计电容检测电极间间隙。并且，由于能够设计的参数是两个，因此能够设计与反射膜间间隙的驱动范围以及静电电容测定器的输入范围对应的电容特性。电容特性在静电电容的值和反射膜间间隙的值之间具有反比例的关系。通过能够设计两个参数，从而能够使该反比例的曲线与期望的电容特性一致。其结果，能够使电容检测电极间间隙的间隙量的检测精度得以提高。由于电容检测电极间间隙和反射膜间间隙之间具有相关关系，因此对于反射膜间间隙的间隙量，也能够提高检测精度。

因此，根据本发明，使能够设计的参数为多个，担保电容特性的设计的自由度，能够使反射膜间间隙的间隙量控制的精度得以提高。

并且，由于驱动电极间间隙也是和反射膜间间隙、电容检测电极间间隙不同的间隙量，因此能够使间隙量变更部的设计自由度得以提高。

在本发明的波长可变干涉滤波器中，优选所述电容检测电极间间隙的间隙量g_s比所述反射膜间间隙的间隙量g_m大。