[发明专利]剥离装置和包括剥离装置的热成像系统有效
申请号: | 201310286878.1 | 申请日: | 2013-07-09 |
公开(公告)号: | CN103545461B | 公开(公告)日: | 2017-04-12 |
发明(设计)人: | 安耿显;朴镇翰;金东述;李炳哲 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56 |
代理公司: | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司11204 | 代理人: | 余朦,姚志远 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 剥离 装置 包括 直入式热 成像 系统 | ||
技术领域
本发明大体上涉及剥离装置和包括这种剥离装置的直入式(inline)热成像系统。
背景技术
有机发光元件是平板显示装置。这种有机发光元件可包括阳极、阴极和插入在阳极和阴极之间的至少一个有机发光层。有机发光元件具有视角宽、对比度高和响应速度快的优点。由于有机光发射元件的这些优点,有机发光显示装置作为下一代显示器而受到人们的关注。
背景技术部分中公开的以上信息仅用于增强对本发明背景的理解,因此其可以包括不形成在该国中对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。
发明内容
本发明提供了一种可以使在热成像方法中使用的剥离过程中发生的事故最小化的剥离装置,以及包括这种剥离装置的直入式热成像系统。
本发明的一方面提供了一种剥离装置,该剥离装置包括:平台,平台安装有下支承件、受体衬底、供体膜,其中受体衬底设置在下支承件上,供体膜沿受体衬底的边缘与下支承件层压,使得受体衬底位于这两者之间;第一夹持器,设置在台的端侧以通过夹持供体膜的端部来使供体膜的端部朝远离受体衬底的方向移动;以及第一剥离辊,设置在供体膜上以支承设置在受体衬底与第一夹持器之间的供体膜,并且朝第一夹持器的方向自体旋转。
第一剥离辊可包括:固定轴,空气可穿过该固定轴,并且该固定轴包括从固定轴内部向受体衬底与第一夹持器之间的方向穿透的第一缝;外卷筒,围绕固定轴,相对于固定轴自体旋转,并且该外卷筒包括沿外部设置并向固定轴的方向穿透的多个第二缝;以及阻挡层,由固定轴支承且设置在固定轴与外卷筒之间,并且朝受体衬底与第一夹持器之间的方向开口。
阻挡层可开放固定轴的整个外部的1/4区域。
空气可从第一缝移动到第二缝。
空气可从第二缝移动到第一缝。
第一剥离辊还可包括围绕外卷筒的覆盖层。
覆盖层可包括:第一子覆盖层,被设置为对应于供体膜的端部并且阻挡第二缝;第二子覆盖层,被设置为邻近第一子覆盖层并且对应于供体膜的与下支承件层压的部分,该第二子覆盖层包括多个第一穿透孔;以及第三子覆盖层,被设置为邻近第二子覆盖层并且对应于受体衬底,该第三子覆盖层包括尺寸小于第一穿透孔的多个第二穿透孔。
剥离装置还可包括第一支承辊,第一支承辊被设置成与第一剥离辊相对,使得供体膜位于这两者之间。
剥离装置层还可包括:第二夹持器,设置在平台的端侧以夹持下支承件的端部并朝远离受体衬底的方向移动下支承件的端部;以及第二剥离辊,设置在下支承件上以支承设置在受体衬底与第二夹持器之间的下支承件,并且朝第二夹持器的方自体旋转。
剥离装置还可包括第二支承辊,第二支承辊被设置成与第二剥离辊相对,使得下支承件位于这两者之间。
本发明的另一方面提供了一种直入式热成像系统,该直入式热成像系统包括:如上所述的剥离装置;转移装置,与剥离装置邻近并且包括将激光照射至与受体膜相对应的供体膜的激光单元;层压装置,与转移装置相邻近并且包括将供体膜层压至下支承件以使受体衬底位于这两者之间的层压单元;以及平台移动装置,将台分别移动至层压装置、转移装置和剥离装置。
根据本发明示例性实施方式,剥离装置和具有这种剥离装置的直入式热成像系统可使得使用热成像方法的剥离过程中所产生的缺陷最小化。
附图说明
本发明的更完整的理解及其多个优点将变得显而易见,因为这些内容在结合附图考虑时可通过参考下面的详细说明变的更好理解,在附图中,相同的参考符号指示相同或相似的部件,其中:
图1示出了根据本发明第一示例性实施方式的直入式热成像系统。
图2示出了图1中示出的层压装置。
图3是示出了利用图2中示出的层压装置层压有供体膜的受体衬底的剖视图。
图4示出了图1中示出的转移装置。
图5是示出了具有利用图4中示出的转移装置转移的供体膜的有机层的受体衬底的剖视图。
图6-图8示出了图1中示出的剥离装置。
图9-图12示出了利用图8中示出的剥离装置的剥离过程。
图13是通过图9至图12中示出的剥离过程与供体膜剥离的受体衬底的剖视图。
图14示出了根据本发明第二示例性实施方式的剥离装置。
图15示出了根据本发明第三示例性实施方式的剥离装置。
图16示出了根据本发明第四示例性实施方式的剥离装置。
具体实施方式
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择