[发明专利]剥离装置和包括剥离装置的热成像系统有效
申请号: | 201310286878.1 | 申请日: | 2013-07-09 |
公开(公告)号: | CN103545461B | 公开(公告)日: | 2017-04-12 |
发明(设计)人: | 安耿显;朴镇翰;金东述;李炳哲 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56 |
代理公司: | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司11204 | 代理人: | 余朦,姚志远 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 剥离 装置 包括 直入式热 成像 系统 | ||
1.一种剥离装置,包括:
平台,安装有下支承件、受体衬底、供体膜,其中所述受体衬底设置在所述下支承件上,所述供体膜沿所述受体衬底的边缘与所述下支承件层压,使得所述受体衬底位于所述供体膜与所述下支承件之间;
第一夹持器,设置在所述平台的端侧以通过夹持所述供体膜的端部来使所述供体膜的端部朝远离所述受体衬底的方向移动;以及
第一剥离辊,设置在所述供体膜上以支承设置在所述受体衬底与所述第一夹持器之间的供体膜并且朝所述第一夹持器的方向自体旋转。
2.根据权利要求1所述的剥离装置,其中所述第一剥离辊包括:
固定轴,空气穿过所述固定轴,所述固定轴包括第一缝,所述第一缝从所述固定轴的内部朝所述受体衬底与所述第一夹持器之间的方向穿透;
外卷筒,围绕所述固定轴,所述外卷筒相对于所述固定轴自体旋转并包括多个第二缝,所述多个第二缝沿外部设置并朝所述固定轴的方向穿透;以及
阻挡层,由所述固定轴支承且设置在所述固定轴与所述外卷筒之间,并且朝所述受体衬底与所述第一夹持器之间的方向开口。
3.根据权利要求2所述的剥离装置,其中所述阻挡层开放所述固定轴的整个外部的1/4区域。
4.根据权利要求2所述的剥离装置,其中所述空气从所述第一缝移动到所述第二缝。
5.根据权利要求2所述的剥离装置,其中所述空气从所述第二缝移动到所述第一缝。
6.根据权利要求2所述的剥离装置,其中所述第一剥离辊还包括围绕所述外卷筒的覆盖层。
7.根据权利要求6所述的剥离装置,其中所述覆盖层包括:
第一子覆盖层,被设置为与所述供体膜的端部相对应并且阻挡所述第二缝;
第二子覆盖层,被设置为与所述第一子覆盖层相邻并与所述供体膜的与所述下支承件层压的部分相对应,所述第二子覆盖层包括多个第一穿透孔;以及
第三子覆盖层,被设置为与所述第二子覆盖层相邻并与所述受体衬底相对应,所述第三子覆盖层包括尺寸小于所述第一穿透孔的多个第二穿透孔。
8.根据权利要求1所述的剥离装置,还包括第一支承辊,所述第一支承辊被设置为与所述第一剥离辊相对,使得所述供体膜位于所述第一支承辊与所述第一剥离辊之间。
9.根据权利要求1所述的剥离装置,还包括:
第二夹持器,设置在所述平台的端侧以夹持所述下支承件的端部,并朝远离所述受体衬底的方向移动所述下支承件的所述端部;以及
第二剥离辊,设置在所述下支承件上以支承设置在所述受体衬底与所述第二夹持器之间的下支承件并且朝所述第二夹持器的方向自体旋转。
10.根据权利要求9所述的剥离装置,还包括第二支承辊,所述第二支承辊被设置为与所述第二剥离辊相对,使得所述下支承件位于所述第二支承辊与所述第二剥离辊之间。
11.一种热成像系统,包括:
剥离装置,包括:
平台,安装有下支承件、受体衬底、供体膜,其中所述受体衬底设置在所述下支承件上,所述供体膜沿所述受体衬底的边缘与所述下支承件层压,使得所述受体衬底位于所述供体膜与所述下支承件之间;
第一夹持器,设置在所述平台的端侧以通过夹持所述供体膜的端部来使所述供体膜的端部朝远离所述受体衬底的方向移动;以及
第一剥离辊,设置在所述供体膜上以支承设置在所述受体衬底与所述第一夹持器之间的供体膜并且朝向所述第一夹持器的方向自体旋转;
所述直入式热成像系统还包括:
转移装置,与所述剥离装置相邻并且包括激光单元,所述激光单元将激光照射至与所述受体膜相对应的所述供体膜;
层压装置,与所述转移装置相邻并且包括层压单元,所述层压单元将所述供体膜层压至所述下支承件以使所述受体衬底位于所述供体膜与所述下支承件之间;以及
平台移动装置,将所述平台分别移动至所述层压装置、所述转移装置和所述剥离装置。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择