[发明专利]一种基于结构自激振动原理的微机电谐振器无效
| 申请号： | 201310279863.2 | 申请日： | 2013-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN103338021A | 公开（公告）日： | 2013-10-02 |
| 发明（设计）人： | 闫晓军;漆明净 | 申请（专利权）人： | 北京航空航天大学 |
| 主分类号： | H03H9/24 | 分类号： | H03H9/24;H03H9/02 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 成金玉;顾炜 |
| 地址： | 100191*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 结构 振动 原理 微机 谐振器 | ||
1.一种基于结构自激振动原理的微机电谐振器，其特征在于包括：
一个绝缘支撑基座，该绝缘支撑基座不与任何电极相连，也不接地，即电势浮动；
一个导电微梁，该导电微梁的一端固定在上述绝缘支撑基座上，另一端为水平悬空状；
两个直流驱动电极，置于导电微梁两侧，其中一个直流驱动电极接入直流正电压，另一个直流驱动电极接入直流负电压，两直流驱动电极之间保持一定的间距；
一个衬底，所述的绝缘支撑基座和直流驱动电极均固定在该衬底上。
2.根据权利要求1所述的基于结构自激振动原理的微机电谐振器，其特征在于：通过在两个直流驱动电极之间串联一个电阻，直接检测频率输出。
3.根据权利要求1所述的基于结构自激振动原理的微机电谐振器，其特征在于：所述两直流驱动电极之间保持的间距为4-5mm。
4.根据权利要求1所述的基于结构自激振动原理的微机电谐振器，其特征在于：所述导电微梁的制备材料是各种导电材料，包括硅、金、铝、铜或形状记忆合金。
5.根据权利要求1所述的基于结构自激振动原理的微机电谐振器，其特征在于：所述导电微梁的横截面为多种形状，包括矩形、圆柱形或椭圆形。
6.根据权利要求1所述的基于结构自激振动原理的微机电谐振器，其特征在于：所述导电微梁为直径25-26μm的圆柱形时，其长度为10-11mm。
7.根据权利要求1所述的基于结构自激振动原理的微机电谐振器，其特征在于：所述两直流驱动电极中的一个直流驱动电极接入正的直流电压，范围为0～+600V，另一个直流驱动电极则接入负的直流电压，范围为0～-600V。
8.根据权利要求1所述的基于结构自激振动原理的微机电谐振器，其特征在于：所述衬底材料为多种绝缘材料，包括聚酰亚胺、硅橡胶或光刻胶。
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