[发明专利]微气泡式处理装置

权利要求书

1.一种微气泡式处理装置，其对至少一被处理部件进行处理，其特征在于包括：处理槽、两块活动式导流板以及曝气元件，

所述处理槽包括收放槽和溢流接收部，该收放槽储存液体，所述至少一被处理部件浸渍在该收放槽的所述液体中，该收放槽的上端开放，所述溢流接收部夹着所述收放槽的上端开口设置在相对的两侧部分，

所述两块活动式导流板是设置在所述收放槽内的两块活动式导流板，在各所述溢流接收部和所述至少一被处理部件之间各设置有一块该活动式导流板，所述两块活动式导流板以所述至少一被处理部件设置在该两块活动式导流板之间的方式浸渍在所述液体中，

所述曝气部件设置在所述收放槽内、浸渍在所述液体中且布置在所述至少一被处理部件的下方，

所述曝气元件构成为：生成以相同的速度在所述液体中直线上升来对所述至少一被处理部件的表面进行处理的、多个大小相同的微气泡，

所述两块活动式导流板进行引导，让带着从所述处理后的所述表面分离下来的杂质在所述液体中朝着上方移动来的所述微气泡流向两所述溢流接收部。

2.根据权利要求1所述的微气泡式处理装置，其特征在于:

所述曝气元件是曝气槽或曝气管。

3.根据权利要求1所述的微气泡式处理装置，其特征在于:

所述微气泡从所述微孔生成。

4.根据权利要求3所述的微气泡式处理装置，其特征在于:

各所述微孔的孔径为30微米-100微米。

5.根据权利要求1所述的微气泡式处理装置，其特征在于:

进一步包括产生气流的送风机和风管，该风管与所述曝气元件相连接且通过所述收放槽与所述送风机连接，将所述气流供给所述曝气元件。

6.根据权利要求1所述的微气泡式处理装置，其特征在于：

所述至少一被处理部件设置在支撑架上且浸渍在所述液体中。

7.根据权利要求1所述的微气泡式处理装置，其特征在于：

所述至少一被处理部件是金属板或者半导体基板。

8.根据权利要求1所述的微气泡式处理装置，其特征在于：

进一步包括驱动所述两块活动式导流板转动的驱动装置，

所述驱动装置对所述两块活动式导流板的转动角度进行控制，以便引导与所述杂质一起在所述液体中朝上移动来的所述微气泡流入两所述溢流接收部。

9.根据权利要求8所述的微气泡式处理装置，其特征在于：

所述驱动装置包括轴承运转部件和马达，

所述轴承运转部件设置在所述收放槽上，与所述活动式导流板连接，

所述马达设置在所述收放槽上，与所述轴承运转部件连接。

10.根据权利要求8所述的微气泡式处理装置，其特征在于：

所述驱动装置设置在所述收放槽的侧壁部的外侧面上，通过所述收放槽的侧壁部与所述活动式导流板连接。