[发明专利]用于晶片测试的保护装置有效
| 申请号： | 201310256063.9 | 申请日： | 2013-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN103353539A | 公开（公告）日： | 2013-10-16 |
| 发明（设计）人： | 童炜;高金德 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/02 | 分类号： | G01R1/02 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吴世华;林彦之 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 晶片 测试 保护装置 | ||
1.一种用于晶片测试的保护装置，其特征在于，包括：
导电基座，所述导电基座上设置有探针卡，在测试时所述探针卡电连接有被测晶片；
保护罩，罩设在所述导电基座外围，以将电连接所述探针卡的所述被测晶片与外围环境完全隔离；
电缆引出口，设置在所述保护罩上，以在测试时以将所述被测晶片通过电缆与外部的测试设备接口连接。
2.根据权利要求1所述的保护装置，其特征在于，所述导电基座为导电橡胶底座。
3.根据权利要求1所述的保护装置，其特征在于，所述被测晶片位于所述探针卡的下方。
4.根据权利要求1所述的保护装置，其特征在于，所述探针卡为同轴插线探针卡。
5.根据权利要求1所述的保护装置，其特征在于，所述保护罩的侧面位置设置有观测门和旋转把手，以通过所述旋转把手打开或闭合所述观测门，便于测试过程中的信号调试和测量。
6.根据权利要求1所述的保护装置，其特征在于，所述保护罩的顶部设置有电缆固定支架，所述电缆固定支架配置有固定过孔，以使所述电缆穿过所述固定过孔，从而通过所述电缆引出口与外部的测试设备接口连接。
7.根据权利要求1所述的保护装置，其特征在于，所述保护罩的内表面设置有电缆引出导向支架，设置有导向过孔，以使所述电缆穿过所述导向过孔，从而通过所述电缆引出口与外部的测试设备接口连接。
8.一种用于晶片的测试系统，其特征在于，包括：
自动探针台，所述自动探针台上设置与探针卡，以输送被测晶片使其与探针卡的探针电连接；
保护装置，包括：
导电基座，所述导电基座上设置有探针卡，在测试时所述探针卡上的探针电连接有被测晶片；
保护罩，罩设在所述导电基座外围，以将电连接所述探针卡的所述被测晶片与外围环境隔离；
电缆引出口，设置在所述保护罩上，以在测试时以将所述被测晶片通过电缆与外部的测试设备接口连接。
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