[发明专利]金刚石颗粒表面制备纳米晶金属涂层的方法有效
| 申请号: | 201310253226.8 | 申请日: | 2013-06-24 |
| 公开(公告)号: | CN103343319A | 公开(公告)日: | 2013-10-09 |
| 发明(设计)人: | 徐江;揭晓华;陶洪亮;王国栋 | 申请(专利权)人: | 南京航空航天大学;广东工业大学;广东奔朗新材料股份有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/18 | 分类号: | C23C14/18;C23C14/36;B22F1/00 |
| 代理公司: | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人: | 李纪昌;曹翠珍 |
| 地址: | 210016*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 金刚石 颗粒 表面 制备 纳米 金属 涂层 方法 | ||
1.一种金刚石颗粒表面制备纳米晶金属涂层的方法,其特征在于:利用双阴极等离子溅射沉积法在金刚石颗粒表面制备金属涂层,其中,使用的溅射靶材材料为Ti或Cr,所述金属涂层外层为金属晶粒,晶粒尺寸在10-100纳米,内层为100纳米厚的碳化物层。
2.根据权利要求1所述的金刚石颗粒表面制备纳米晶金属涂层的方法,其特征在于:所述双阴极等离子溅射沉积法的具体工艺参数为:靶材电压800~1000V,电流2.3~6A,料盘电压300~350V,靶材与料盘间距10~20mm,料盘温度500~600℃,工作气压30~45Pa。
3.根据根据权利要求1所述的金刚石颗粒表面制备纳米金属涂层的方法,其特征在于:所述双阴极等离子溅射沉积法中,工作气体是惰性气体。
4.根据根据权利要求3所述的金刚石颗粒表面制备纳米金属涂层的方法,其特征在于:所述惰性气体是氩气。
5.根据权利要求1所述的金刚石颗粒表面制备纳米金属涂层的方法,其特征在于:在溅射沉积前,将金刚石颗粒分别在重量百分比为10%的HNO3、5%的NaOH溶液中煮沸、漂洗。
6.权利要求1所述的金刚石颗粒表面制备纳米晶Ti涂层在铁-镍、钴-青铜结合剂的应用。
7.权利要求1所述的金刚石颗粒表面制备纳米晶Cr涂层在铁-青铜结合剂的应用。
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