[发明专利]电子装置、电子设备、移动体、以及电子装置的制造方法

权利要求书

1.一种电子装置，其特征在于，具备：

基板；

元件，其上设置有质量调节部；

电路元件，其被配置在所述基板上，并且搭载有所述元件，

所述元件被配置于，在俯视观察时所述质量调节部不与所述电路元件重叠的位置处，

以在俯视观察所述元件时，与所述质量调节部重叠的方式，于所述基板上设置有保护层。

2.如权利要求1所述的电子装置，其特征在于，

所述质量调节部具有金属层，所述金属层的至少一部分被去除。

3.如权利要求1所述的电子装置，其特征在于，

所述元件具备：

基部；

支承部，其从所述基部起延伸；

一对检测用振动臂，其从所述基部的一端起延伸；

一对驱动用振动臂，其从所述基部的与所述一端相反的一侧的另一端起延伸；

一对调节用振动臂，其从所述一端或所述另一端中的任意一方起延伸，并以隔着所述检测用振动臂或所述驱动用振动臂的方式而设置，

所述质量调节部被设置在所述调节用振动臂上，

所述支承部与所述电路元件相连接。

4.如权利要求2所述的电子装置，其特征在于，

所述元件具备：

基部；

支承部，其从所述基部起延伸；

一对检测用振动臂，其从所述基部的一端起延伸；

一对驱动用振动臂，其从所述基部的与所述一端相反的一侧的另一端起延伸；

一对调节用振动臂，其从所述一端或所述另一端中的任意一方起延伸，并以隔着所述检测用振动臂或所述驱动用振动臂的方式而设置，

所述质量调节部被设置在所述调节用振动臂上，

所述支承部与所述电路元件相连接。

5.一种电子设备，其特征在于，

具备权利要求1至权利要求4中任一项所述的电子装置。

6.一种移动体，其特征在于，

具备权利要求1至权利要求4中任一项所述的电子装置。

7.一种电子装置的制造方法，其特征在于，包括：

准备基板的工序；

准备设置有质量调节部的元件的工序；

以配置于在俯视观察时所述质量调节部不与电路元件重叠的位置处的方式，将所述元件搭载于所述电路元件上的工序；

在所述基板上配置搭载有所述元件的所述电路元件的工序；

以在俯视观察所述元件时，与所述质量调节部重叠的方式，在所述基板上设置保护层的工序；

向所述质量调节部照射激光，以实施质量调节的工序。