[发明专利]制造微纳尺寸同轴管的方法有效
| 申请号： | 201310224867.0 | 申请日： | 2013-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN103305884A | 公开（公告）日： | 2013-09-18 |
| 发明（设计）人： | 俞敏莉;郑建红;李立峰 | 申请（专利权）人： | 宁波微极电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C25D7/00 | 分类号： | C25D7/00;C25D5/02;C25D5/04;C25D17/00;C25D21/12;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 宁波市鄞州甬致专利代理事务所(普通合伙) 33228 | 代理人： | 代忠炯 |
| 地址： | 315194 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 制造 尺寸 同轴 方法 | ||
1.一种制造微纳尺寸同轴管的方法，其特征在于：它包括以下步骤:
1）提供一个导电基板和三个不同尺寸内径(D1, D2, D3) 的用于微区电解沉积的微电解导管，且D1<D2<D3；
2）采用微区电解沉积系统，用内径为D1 的微电解导管在导电基板上电沉积A材料的柱状结构，柱的直径为D1；
3）围绕直径为D1的A材料的柱状结构，用内径为D2的微电解导管在导电基板上电沉积与直径为D1的A材料的柱状结构同轴的B材料的直管状微纳结构；
4）围绕步骤3）中制得的外径为D2的B材料直管状微纳结构，用内径为D3的微电解导管在导电基板上用材料A电沉积与B材料直管状微纳结构同轴的直管状微纳结构，即得到微纳尺寸同轴管。
2.根据权利要求1所述的制造微纳尺寸同轴管的方法，其特征在于：所述的D1为10nm-200μm；所述D2为50nm-200μm， D3为100nm-500μm。
3.根据权利要求1或2所述的制造微纳尺寸同轴管的方法，其特征在于：所述微纳尺寸同轴管的长度为100nm-1cm。
4.根据权利要求1所述的制造微纳尺寸同轴管的方法，其特征在于：利用A材料和B材料的可溶性差异将B材料的直管状微纳结构溶解或利用A材料和B材料的化学特性差异将B材料的直管状微纳结构腐蚀，得到由材料A内芯柱、空心层以及与材料A内芯柱同轴的材料A套管组成的带空心层的微纳尺寸同轴管。
5.根据权利要求1所述的制造微纳尺寸同轴管的方法，其特征在于：采用由多个微电解导管排列而成的阵列同步实行步骤1）至步骤4），可以在导电基板上制造出微纳尺寸同轴管阵列。
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