[发明专利]比特失效模式统计方法及装置

权利要求书

1.一种比特失效模式统计方法，其特征在于，包括：

获取待处理存储器芯片单元的比特失效的原始数据；

利用Perl脚本分析所述原始数据；

输出比特失效模式结果。

2.如权利要求1所述的比特失效模式统计方法，其特征在于，所述比特失效模式结果包括比特失效模式密度和比特失效模式杀良率比重。

3.如权利要求1所述的比特失效模式统计方法，其特征在于，所述输出比特失效模式结果包括：采用excel处理所述比特失效结果。

4.如权利要求1所述的比特失效模式统计方法，其特征在于，所述比特失效模式包括单个比特、列方向两个比特、行方向两个比特、四个比特、位线、字线、两根位线、两根字线、交叉、团簇及块状失效模式中的一种或多种。

5.如权利要求4所述的比特失效模式统计方法，其特征在于，所述原始数据为一批晶圆的检测数据。

6.如权利要求5所述的比特失效模式统计方法，其特征在于，所述比特失效模式结果包括所述一批晶圆中各个晶圆的统计结果。

7.如权利要求4所述的比特失效模式统计方法，其特征在于，所述原始数据为多批晶圆的检测数据。

8.如权利要求7所述的比特失效模式统计方法，其特征在于，所述比特失效模式结果包括每批晶圆中各个晶圆的统计结果和不同批晶圆之间的统计结果。

9.如权利要求8所述的比特失效模式统计方法，其特征在于，所述不同批晶圆之间的统计结果包括前后批中某一失效模式的占有率的变化及是否有新的失效模式出现。

10.一种比特失效模式统计装置，其特征在于，所述比特失效模式统计装置包括：

数据采集模块，用于获芯片单元的比特失效的原始数据；

数据统计分析模块：所述数据统计分析模块加载有Perl脚本；及

数据输出模块：用于输出比特失效模式结果。