[发明专利]分子泵抽速测试仪

说明书

技术领域

本发明涉及真空技术领域，尤其涉及一种分子泵抽速测试仪。

背景技术

分子泵作为一种真空获得设备在真空行业广泛被使用，分子泵抽速是衡量分子泵性能好坏的重要指标之一。分子泵在装有标准测试罩并按规定条件工作时，从测试罩流过的气体流量与测试罩上指定位置测得的平衡压力之比，简称为泵的抽速。

当前，分子泵抽速按照国标GB7774—87《涡轮分子泵性能测试方法》进行测试。采用定压法，当分子泵泵口处的气压平衡后，记录充入泵内的气体流量值，计算得到分子泵的抽速。该国标规定充入泵内的气体流量按照国标GB6307.1—86《蒸汽流真空泵抽气速率体积流率测试方法》进行测量。也就是，采用滴管式流量测量装置，测量油柱上升的高度和时间，间接表述流量值。然而，采用该方法测量抽速时，由于在不同气压测量点，需更换不同规格的滴管，操作繁琐，耗时长；在测量低气压时，所需滴管容量小，油柱上升的高度和时间测量误差大，因而导致抽速测量误差大；且滴管法抽速测量对测量环境要求比较苛刻，国标规定环境温度需控制在15～25±1℃范围内；另外，测量的抽速数据，会受测量环境的气压影响。从而，当前分子泵抽速测量仪的测试精度低、操作复杂、测试效率低，且无法实现自动连续测量，也不具备数据自动采集和处理功能。

因此，需要发明一种新型的分子泵抽速测试仪。

发明内容

本发明的主要目的在于，提供一种测试精度高、操作简便、测试效率高的分子泵抽速自动测试仪。

本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本发明提出的一种分子泵抽速测试仪，包括测试罩和控制器，在所述测试罩上连接有气瓶，所述气瓶向所述测试罩内提供测试气体，在所述气瓶和测试罩之间设有流量控制单元，用于控制并检测由所述气瓶流向所述测试罩内的测试气体的流量，所述流量控制单元由所述控制器控制，在测试罩上还连接有真空计，所述真空计用于监测所述测试罩内的压力数据，所述真空计监测的压力和所述流量控制单元监测的流量分别传输给所述控制器，所述控制器根据所述压力数据和流量数据计算出抽速。

优选的，前述的分子泵抽速测试仪，其中所述控制器包括：采集模块、调节模块和输出模块，所述采集模块，用于采集所述流量和压力数据；所述调节模块，用于根据压力数据对所述流量控制单元的流量进行调节；所述输出模块，用于向所述流量控制单元发出控制信号，并计算出抽速数据。

优选的，前述的分子泵抽速测试仪，其中所述流量控制单元包括至少一条流量控制管线，所述流量控制管线包括串联的流量控制器和截止阀。

优选的，前述的分子泵抽速测试仪，其中所述流量控制单元还包括与流量控制管线并联的充气管线。

优选的，前述的分子泵抽速测试仪，其中所述流量控制管线设为两条以上。

优选的，前述的分子泵抽速测试仪，其中还包括机械泵，所述机械泵经管路与待测分子泵连接，在所述管道上设有前级阀。

优选的，前述的分子泵抽速测试仪，其中所述控制器还包括可编程逻辑控制器，用于对流量控制管线进行控制。

优选的，前述的分子泵抽速测试仪，其中所述真空计为高精度复合真空计，测量范围1×10^-8～1.5×10⁵Pa。

优选的，前述的分子泵抽速测试仪，其中所述测试罩的底部通过法兰与待测分子泵的法兰连接。

借由上述技术方案，本发明分子泵抽速测试仪至少具有下列优点：

1、本发明的优选的实施方式，具有测试精度高、重复性好、操作简便等优点；使测试效率大大提高。

2、本发明的优选的实施方式，对不同数量级的压力预设值进行抽速监测时，操作简单、测量结果更加准确。

上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本发明的较佳实施例并配合附图详细说明如后。

附图说明

图1是本发明的分子泵抽速测试仪第一实施例的结构示意图；

图2是本发明的分子泵抽速测试仪第二实施例的结构示意图；

图3是图2中流量控制单元的放大图。

具体实施方式