[发明专利]分子泵抽速测试仪

权利要求书

1.一种分子泵抽速测试仪，包括测试罩和控制器，其特征在于，

在所述测试罩上连接有气瓶，所述气瓶向所述测试罩内提供测试气体，

在所述气瓶和测试罩之间设有流量控制单元，用于控制并检测由所述气瓶流向所述测试罩内的测试气体的流量，所述流量控制单元由所述控制器控制，

在测试罩上还连接有真空计，所述真空计用于监测所述测试罩内的压力数据，

所述真空计监测的压力和所述流量控制单元监测的流量分别传输给所述控制器，所述控制器根据所述压力数据和流量数据计算出抽速。

2.根据权利要求1所述的分子泵抽速测试仪，其特征在于，

所述控制器包括：采集模块、调节模块和输出模块，

所述采集模块，用于采集所述流量和压力数据；

所述调节模块，用于根据压力数据对所述流量控制单元的流量进行调节；

所述输出模块，用于向所述流量控制单元发出控制信号，并计算出抽速数据。

3.根据权利要求1所述的分子泵抽速测试仪，其特征在于，

所述流量控制单元包括至少一条流量控制管线，所述流量控制管线包括串联的流量控制器和截止阀。

4.根据权利要求3所述的分子泵抽速测试仪，其特征在于，

所述流量控制单元还包括与流量控制管线并联的充气管线。

5.根据权利要求3所述的分子泵抽速测试仪，其特征在于，

所述流量控制管线设为两条以上。

6.根据权利要求3所述的分子泵抽速测试仪，其特征在于，

还包括机械泵，所述机械泵经管路与待测分子泵连接，在所述管道上设有前级阀。

7.根据权利要求3所述的分子泵抽速测试仪，其特征在于，

所述控制器还包括可编程逻辑控制器，用于对流量控制管线进行控制。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的分子泵抽速测试仪，其特征在于，

所述真空计为高精度复合真空计，测量范围1×10^-8～1.5×10⁵Pa。

9.根据权利要求1至7中任一项所述的分子泵抽速测试仪，其特征在于，

所述测试罩的底部通过法兰与待测分子泵的法兰连接。