[发明专利]在平板显示器面板的衬底上淀积有机物质的方法

说明书

本申请是原案申请号为200810180037.1的发明专利申请（申请日：2008年11月20日，发明名称：有机淀积设备及利用该设备淀积有机物质的方法）的分案申请。

技术领域

本发明涉及一种有机淀积设备以及利用该设备的淀积方法，更具体地说，涉及一种在衬底上淀积有机薄膜的设备及利用该设备的淀积方法。

背景技术

近来向信息社会的转变，支持了显示技术的重要性，显示技术允许通过以用户能可视化感知的文本和图像方式显示数据，以使数据能够随时随地地被访问。由于更早的阴极射线管（CRT）显示器相对较大的尺寸和较大的重量，显示装置市场的客户倾向反映出对平板显示器，诸如液晶显示器（LCD）、等离子体显示器（PDP）、以及有机电致发光显示器（organic light emitting diodes，OLED）日益增长的需求。

LCD是使用单独光源的被动型器件。LCD具有一些技术缺陷，如视角、响应时间、对比度等等。PDP在视角和响应时间方面可提供比LCD更佳的特性。然而，PDP更难以小型化，更费电，而且制造成本更高。

有机电致发光显示器（下文中称为OLED）是自发光的，因此无需单独的光源。OLED的耗电更小，响应时间更短，几乎没有无视角的缺陷，并且可以将任意类型的小型移动图像在大屏幕上逼真地再现出来。而且，OLED的结构更容易制造，并且能够最终制造出超薄（厚度1毫米或更小）和超轻的显示器。此外，在柔软的衬底例如塑料上制造这种显示器的研究正在进行中，以便生产出更薄，更轻且更不易破碎的柔软的显示器。改进的制造系统和方法，包括那些旨在在衬底上淀积材料的系统和方法，将帮助提高这种技术的发展。

发明内容

本发明提供了一种有机淀积设备和利用该设备的淀积方法，该设备和方法能够利用具有相对简单结构的设备淀积厚度均匀的有机薄膜。

如本申请所包含并概括性描述的一种有机淀积设备可包括：供给源单元，被构造成通过蒸发待淀积于衬底上的有机物质生成有机源，并被构造成通过置于处理空间下方的喷淋头向处理空间的上方注入并扩散所述有机源；置于处理空间上方的载台单元，用于支撑被传输进处理空间中的所述衬底，并将该衬底向上和向下移动以调整该衬底与该喷淋头之间的距离；以及置于腔室上方的抽取口，该抽取口用于为处理空间提供真空排气路径，以便将处理空间的气流导向所述载台单元。

所述载台单元可包括置于处理空间上方用于支撑所述衬底的衬底夹具以及一侧结合到衬底夹具而另一侧延伸穿过腔室上方的支承轴。

所述有机淀积设备还可包括固定在所述支承轴的另一侧且与所述衬底夹具相平行的平板。

所述有机淀积设备还可包括构造成支撑所述平板并在一平面内移动该平板的对齐单元。

所述载台单元也可包括置于所述腔室与所述平板之间用于支撑所述衬底的升降台以及结合到所述腔室的侧面用于支撑所述升降台并向上和向下移动该升降台的夹具升降模块。

所述载台单元也可包括构造成支撑处理空间中的图案化的掩模的升起臂以及掩模升降模块，该掩模升降模块包括被构造成向着所述衬底夹具移动该升起臂的升起驱动单元。

所述掩模升降模块可被提供有多个，用以支撑所述掩模的边缘部分，其中所述多个掩模移动模块可单独操作用于单独调整所述升起臂的升降距离。

所述有机淀积设备还可包括构造成通过蒸发有机物质而生成有机源的源发生器以及置于所述源发生器和所述喷淋头之间用于将该源发生器生成的所述有机源与用于运送该有机源的载气混合的混合器。

所述喷淋头可包括构造成扩散自所述源发生器提供的所述有机源的扩散室和从该扩散室向所述处理空间延伸的多个注入孔。

如本申请所包含并概括性描述的一种淀积有机物质的方法可包括：执行衬底支撑操作，用于将衬底引入处理空间中并支撑该衬底；执行遮蔽操作，用于遮蔽所述处理空间；执行排气操作，用于通过所述处理场的上方和下方将该处理空间抽成真空；以及执行沉积操作，用于在停止通过所述处理空间的下方对该处理空间进行抽真空，但维持通过所述处理场上方对该处理空间进行抽真空之后，将有机源向所述衬底注入。

在所述衬底支撑操作和所述遮蔽操作之间，所述方法还可包括：执行掩模引入操作，用于将图案化的掩模引入所述处理空间中；以及执行接触操作，用于使该掩模与所述衬底相接触。

所述接触操作可包括：执行测定操作，用于测定所述衬底与所述掩模之间的对齐状态；以及执行对齐操作，用于通过单独向上和向下移动所述掩模的边缘部分而调整所述衬底与所述掩模之间的距离，并通过相对所述掩模在一平面内移动所述衬底而将该衬底与该掩模对齐。