[发明专利]分散板及具有该分散板的镀膜装置

权利要求书

1.一种分散板，用于镀膜装置，其中，所述分散板上具有：

有效区，所述有效区均匀设置有多个用于气体通过的气体孔；以及

位于所述有效区外围的无效区，与待镀膜基板的无效区的位置相对应，用于所述分散板与外部装置的连接，所述无效区具有多条切割线。

2.如权利要求1所述的分散板，其特征在于，所述分散板具有长边和短边，所述长边和短边上均具有多条所述切割线。

3.如权利要求2所述的分散板，其特征在于，所述切割线是利用物理性加工在分散板边缘切除部分分散板所形成。

4.如权利要求2所述的分散板，其特征在于，位于所述长边的切割线的长度为3～5mm，宽度为0.5～1mm，数量为3～5条。

5.如权利要求4所述的分散板，其特征在于，位于所述短边的切割线的长度为1～2mm，宽度为0.5～1mm，数量为2～3条。

6.如权利要求5所述的分散板，其特征在于，位于所述短边的切割线垂直于位于所述长边的切割线，且平行于所述长边。

7.如权利要求2所述的分散板，其特征在于，各所述切割线的延长线交于所述分散板的几何中心。

8.如权利要求2所述的分散板，其特征在于，所述切割线在所述长边上均匀分布，所述切割线在所述短边上均匀分布。

9.如权利要求2所述的分散板，其特征在于，位于所述长边中部的切割线间距小于位于所述长边两侧的切割线间距。

10.一种镀膜装置，其特征在于，所述镀膜装置具有权利要求1-9任一所述的分散板。

11.如权利要求10所述的镀膜装置，其特征在于，所述镀膜装置具有至少2层分散板。

12.如权利要求11所述的镀膜装置，其特征在于，所述分散板的厚度小于10mm。