[发明专利]蒸镀装置及利用该蒸镀装置进行的蒸镀工艺有效
申请号: | 201310190867.3 | 申请日: | 2013-05-21 |
公开(公告)号: | CN103305798A | 公开(公告)日: | 2013-09-18 |
发明(设计)人: | 黄俊允 | 申请(专利权)人: | 上海和辉光电有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24 |
代理公司: | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人: | 竺路玲 |
地址: | 201506 上海市金山区*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 装置 利用 进行 工艺 | ||
技术领域
本发明涉及OLED技术领域,尤其涉及一种蒸镀装置及利用该装置进行的蒸镀工艺。
背景技术
有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode,简称OLED),又称为有机电激光显示(Organic Electroluminesence Display),通过采用非常薄的有机材料涂层和玻璃基板,当电流通过时,该有机材料涂层就会发光,即OLED具有自发光的特性,且OLED显示屏幕可视角度大,并且能够显著节省电能,因为此OLED屏幕相对现有的LCD具有不可比拟的优势,得到了广泛的应用。
目前,OLED蒸镀机均为客制化机台,但其量产稼动率(activation或utilization,是指一台机器设备可能的生产数量与实际生产数量的比值)偏低,业界主要通过以下方式提升量产稼动率:a、增大蒸镀工艺中蒸发材料的容量,如提升蒸发材料坩埚的容量或在腔体外进行加料设计等;b、成膜金属罩真空交换方式。上述这两种的方式,虽然能一定程度的提升量产稼动率,但均受限于蒸镀工艺设备中防着板的材料吸附能力,而无法将蒸镀机的量产稼动率提升至工艺需求的范围。
图1是采用传统防着板进行蒸镀工艺的结构示意图;如图1所示,移动蒸发源15沿移动装置16长度方向运动,以对基板11进行蒸镀工艺;当移动蒸发源15移动至基板11的下方,并完成对该基板11的蒸镀工艺后,沿移动装置16回到预备蒸镀位置12,由于移动蒸发源15在移动过程中一直向上喷射蒸发物17,即向防着板14的下表面喷射蒸发物17,由于防着板14的下表面的吸附能力的限制,在经过长时间蒸镀工艺后,吸附在防着板14下表面的蒸发物会产生龟裂,甚至脱落的现象,影响蒸镀工艺的稳定性。
在蒸镀工艺中,为了提升防着板的吸附能力,业界主要通过在防着板的表面进行喷砂或是铝融射处理,但均无法有效解决防着板由于长时间累积蒸镀材料后,出现的防着板材料龟裂,甚至剥落的现象;而当防着板上累积的蒸镀材料剥落时,会掉落至材料蒸发源中,进而影响蒸镀薄膜的均匀性,而降低产品的性能及产品的良率。
中国专利(公开号:CN101003888A)一种蒸镀装置,通过在坩埚顶部的气流出口上套设衬板,且该衬板具有与该坩埚气流出口配合的开口,而该衬板开口内壁面具有锯齿状突起结构,以防止蒸镀材料污染。该专利文献只是解决了衬板开口上材料脱落而污染蒸镀材料的问题,而没有公开任何有关解决由于防着板上蒸镀材料长时间累积而造成龟裂脱落,进而造成蒸镀材料污染问题的技术特征。
中国专利(CN102011085A)一种防着板表面处理方法,通过在表面光滑的防着板进行图案化处理后,继续喷砂、融射处理,以使得防着板更加容易吸附靶材原子或大尺寸的颗粒,进而增加防着板的沉淀能力,延长防着板的使用寿命。该专利文献公开的技术方案虽然能一定程度的提升防着板的沉淀能力,但是仍然对蒸镀机的量产稼动率有一定的限制,当防着板上沉淀的蒸镀材料达到一定程度后,不能不停机对防着板进行处理,否则同样会产生龟裂脱落的现象,污染蒸镀源,相应的也就降低了蒸镀机的量产稼动率。
发明内容
本发明公开了一种蒸镀装置,包括冷却板,所述冷却板设置于蒸镀机内移动蒸发源的上方,其中,还包括多个活动板;
所述多个活动板通过一固定装置固定设置于所述冷却板的下方;
一联动装置控制所述多个活动板同步自转,于所述移动蒸发源的上方形成防着面板。
上述的蒸镀装置,其中,每个所述活动板的表面均经过喷砂和/或铝融射处理。
上述的蒸镀装置,其中,每个所述活动板均以其几何中心线为轴进行自转动作。
上述的蒸镀装置,其中,所述多个活动板均匀分布于所述冷却板的下方,且每个所述活动板的材质均相同。
上述的蒸镀装置,其中,每个所述活动板均为一相同尺寸的工形结构;
所述工形结构包括一竖板和位于所述竖板两端的凸起;
相邻两个所述活动板上的凸起交错排列,且相邻的两个所述活动板之间的距离大于一设定值,形成所述防着面板,以隔离所述移动蒸发源喷射蒸发物至所述冷却板上;
其中,所述设定值根据所述蒸发物的凝结参数设定。
上述的蒸镀装置,其中,所述防着面板与所述冷却板之间还设置一防着板。
上述的蒸镀装置,其中,每个所述活动板均为一相同尺寸的长方体,该长方体的底面为长方形,且该底面垂直于所述冷却板的下表面;
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