[发明专利]蒸镀装置及利用该蒸镀装置进行的蒸镀工艺

权利要求书

1.一种蒸镀装置，包括冷却板，所述冷却板设置于蒸镀机内移动蒸发源的上方，其特征在于，还包括多个活动板；

所述多个活动板通过一固定装置固定设置于所述冷却板的下方；

一联动装置控制所述多个活动板同步自转，于所述移动蒸发源的上方形成防着面板。

2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，每个所述活动板的表面均经过喷砂和/或铝融射处理。

3.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，每个所述活动板均以其几何中心线为轴进行自转动作。

4.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述多个活动板均匀分布于所述冷却板的下方，且每个所述活动板的材质均相同。

5.根据权利要求4所述的蒸镀装置，其特征在于，每个所述活动板均为一相同尺寸的工形结构；

所述工形结构包括一竖板和位于所述竖板两端的凸起；

相邻两个所述活动板上的凸起交错排列，且相邻的两个所述活动板之间的距离大于一设定值，形成所述防着面板，以隔离所述移动蒸发源喷射蒸发物至所述冷却板上；

其中，所述设定值根据所述蒸发物的凝结参数设定。

6.根据权利要求4所述的蒸镀装置，其特征在于，所述防着面板与所述冷却板之间还设置一防着板。

7.根据权利要求6所述的蒸镀装置，其特征在于，每个所述活动板均为一相同尺寸的长方体，该长方体的底面为长方形，且该底面垂直于所述冷却板的下表面；

相邻的两个所述活动板之间的距离大于第一预设值，且每个所述活动板的底面的长边均与所述冷却板板的下表面平行，形成所述防着面板，以阻挡所述移动蒸发源喷射蒸发物至所述冷却板上；

其中，所述第一预设值根据所述蒸发物的凝结参数和所述长方体的尺寸设定。

8.根据权利要求6所述的蒸镀装置，其特征在于，每个所述活动板均为一相同尺寸的长方体，该长方体的底面为正方形，且该底面垂直于所述冷却板的下表面；

相邻的两个所述活动板之间的距离大于第二预设值，且每个所述活动板的一侧面与所述冷却板板的下表面平行，形成所述防着面板，以阻挡所述移动蒸发源喷射的部分蒸发物；

其中，所述第二预设值根据所述蒸发物的凝结参数和所述长方体的尺寸设定。

9.根据权利要求6所述的蒸镀装置，其特征在于，每个所述活动板均为一相同尺寸的四面体，该四面体的底面为正三角形，且该底面垂直于所述冷却板的下表面；

相邻的两个所述活动板之间的距离大于第三预设值，且每个所述活动板的一侧面与所述冷却板板的下表面平行，形成所述防着面板，以阻挡所述移动蒸发源喷射的部分蒸发物；

其中，所述第三预设值根据所述蒸发物的凝结参数和所述四面体的尺寸设定。

10.一种蒸镀工艺，应用于软质或硬质基板的薄膜制备，其特征在于，采用如权利要求1-9中任意一项所述的蒸镀装置进行所述蒸镀工艺；

所述蒸镀工艺包括：

通过所述联动装置控制所述多个活动板于所述移动蒸发源和所述冷却板之间可形成至少两防着面板。

11.根据权利要求10所述的蒸镀工艺，其特征在于，还包括：

所述移动蒸发源依循移动装置设定方向从一预备蒸镀位置移动至所述软质或硬质基板位置处再移动至预备蒸镀位置处时，一所述防着面板吸附全部或部分所述移动蒸发源蒸镀的蒸发物；

当该防着面板吸附的所述蒸发物达到一预设参数值时，所述联动装置控制所述多个活动板同步自转形成另一防着面板，并继续蒸镀工艺；

其中，所述预设参数值根据所述防着面板表面的吸附能力设定。