[发明专利]固体表面吸附红外检测装置

权利要求书

1.固体表面吸附红外检测装置。

2.按照权利要求1所述的固体表面吸附红外检测装置，其特征在于其由气源部分、真空部分和检测部分组成。

3.按照权利要求2所述的气源部分，其特征在于其包括气源、储气罐、混合罐以及附带的阀门等。其中气源可以为单一或多个钢瓶或气袋，通过可方便拆卸接口或者配气箱与储气罐和混合罐连接。储气罐可以由多个气体罐或液体罐组成。混合罐为气体罐，与气源、储气罐、真空泵相连，可以进行抽真空和充气，也可以对多种气体进行混合。

4.按照权利要求2所述的真空部分，其特征在于其包括真空泵以及附带的阀门和压力表等。真空泵与对应的开关阀以法兰的方式进行连接，易安装拆卸。

5.按照权利要求2所述的检测部分，其特征在于其包括红外光谱仪、红外池以及附带的阀门和压力表等。红外池中固体为压片的状态，可以进行加热和抽真空处理。