[发明专利]有机发光二极管显示器及其制造方法

说明书

技术领域

本发明大体上涉及有机发光二极管（OLED）显示器及其制造方法。

背景技术

有机发光二极管显示器包括两个电极和介于两个电极之间的有机发光层，从一个电极注入的电极和从另一电极注入的空穴在有机发光层内彼此结合，从而形成激子，并且当激子放出能量时发光。

有机发光二极管显示器包括多个像素，多个像素包括属于自发光元件的有机发光二极管，并且在每个像素中形成用于驱动有机发光二极管的多个薄膜晶体管和至少一个电容器。多个薄膜晶体管基本包括开关薄膜晶体管和驱动薄膜晶体管。

在开关薄膜晶体管中，在栅电极和半导体层之间形成具有薄厚度的栅绝缘层，以获得快速的开关操作。在此情况下，由于与开关薄膜晶体管形成在同一层上的驱动薄膜晶体管的栅绝缘层的厚度减少，所以向驱动薄膜晶体管的栅电极施加的栅电压的驱动范围变窄。因此，为了保证很多灰度而控制驱动薄膜晶体管的栅电压的幅度是困难的。

在该背景部分中公开的上述信息仅仅是为了加深理解所描述的技术背景，因此其可以包含不构成本国对于本领域技术人员而言已知的现有技术的信息。

发明内容

开发本发明，以提供一种使驱动薄膜晶体管的驱动范围展宽从而显示很多灰度的有机发光二极管显示器以及该有机发光二极管显示器的制造方法。

示例性实施例提供一种有机发光二极管显示器，该有机发光二极管显示器包括：基板，在所述基板上形成的且传递扫描信号的扫描线，与所述扫描线交叉且分别传递数据信号和驱动电压的数据线和驱动电压线，与所述扫描线和所述数据线连接的开关薄膜晶体管，与所述开关薄膜晶体管和所述驱动电压线连接的驱动薄膜晶体管，以及与所述驱动薄膜晶体管连接的有机发光二极管。所述驱动薄膜晶体管可以包括：驱动半导体层，所述驱动半导体层包括驱动沟道区、驱动源区和驱动漏区，所述驱动沟道区介于所述驱动源区和所述驱动漏区之间；覆盖所述驱动半导体层的第一栅绝缘层；浮置栅电极，在所述第一栅绝缘层上形成且在与所述驱动沟道区对应的位置处形成；覆盖所述第一栅绝缘层和所述浮置栅电极的第二栅绝缘层；以及驱动栅电极，在所述第二栅绝缘层上形成且在与所述浮置栅电极对应的位置处形成。

所述驱动栅电极的宽度可以与所述浮置栅电极的宽度相同或小于所述浮置栅电极的宽度。

所述驱动栅电极的宽度和所述浮置栅电极的宽度之间的差值可以是4μm或4μm以下。

当在所述驱动栅电极和所述浮置栅电极之间形成的第一浮置电容器由C1限定且在所述浮置栅电极和所述驱动漏区之间形成的第二浮置电容器由C2限定时，C2/C1（所述第一浮置电容器和所述第二浮置电容器的比值）可以大于0且小于2。

所述开关薄膜晶体管可以包括：开关薄膜半导体层，所述开关薄膜半导体层包括开关沟道区、开关源区和开关漏区，所述开关沟道区介于所述开关源区和所述开关漏区；以及在所述第一栅绝缘层上形成的开关栅电极，所述开关栅电极覆盖所述开关半导体层并且在与所述开关沟道区对应的位置处形成。并且所述第一栅绝缘层和所述浮置栅电极可以覆盖所述第二栅绝缘层。

所述开关栅电极可以与所述扫描线连接，并且所述浮置栅电极可以与所述扫描线分离。

另一示例性实施例提供一种有机发光二极管显示器的制造方法，该方法包括：在基板上形成开关半导体层和驱动半导体层；形成覆盖所述开关半导体层和所述驱动半导体层的第一栅绝缘层；在所述第一栅绝缘层上的在与所述开关半导体层和所述驱动半导体层部分重叠的位置分别形成开关栅电极和浮置栅电极；通过使用所述开关栅电极和所述浮置栅电极作为掩膜对所述开关半导体层和所述驱动半导体层掺杂杂质，以分别形成开关源区、开关漏区、驱动源区和驱动漏区；形成覆盖所述第一栅绝缘层、所述开关栅电极和所述浮置栅电极的第二栅绝缘层；以及在所述第二栅绝缘层上的与所述浮置栅电极对应的位置形成驱动栅电极。

所述开关源区、所述开关漏区、所述驱动源区和所述驱动漏区的杂质掺杂浓度可以彼此相同。

所述开关栅电极可以与传递扫描信号的扫描线连接并且可以与所述扫描线形成在同一层上。

所述浮置栅电极可以形成为与所述扫描线分离。

该制造方法可以进一步包括：在所述第二栅绝缘层和所述驱动栅电极上形成层间绝缘层；在所述层间绝缘层上形成与所述扫描线交叉并且分别传递数据信号和驱动电压的数据线和驱动电压线；形成覆盖所述数据线和所述驱动电压线的上部的保护层；以及在所述保护层上形成与所述驱动薄膜晶体管连接的有机发光二极管。