[发明专利]波长可变干涉滤波器、光学滤波器装置、光学模块及设备

说明书

技术领域

本发明涉及波长可变干涉滤波器、光学滤波器装置、光学模块以及电子设备。

背景技术

现有技术中已知有一种波长可变干涉滤波器（例如参照专利文献1），具有彼此相对的一对反射膜，通过改变该反射膜之间距离，从测定对象的光中获取规定波长的光。

专利文献1中记载的波长可变干涉滤波器（光共振器）包括：彼此相对的第一基板以及第二基板；分别设置于各基板且隔着反射膜之间间隙彼此相对的高反射膜；以及分别设置于各基板且彼此相对的电极。对于这种波长可变干涉滤波器，通过向电极间施加电压，使第二基板变形而调整反射膜间间隙，由此能够改变由波长可变干涉滤波器获取的光的波长。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：特开平7-243963号公报

然而，在上述专利文献1记载的波长可变干涉滤波器中，通过向电极间施加电压，使第二基板挠曲，并向反射膜之间间隙变窄的方向驱动第二基板。因此，存在如下技术问题：为了获取短波长侧的光，当缩小反射膜之间间隙时，由于第二基板的挠曲和倾斜，透过波长可变干涉滤波器的光的半幅值随着反射膜之间的缩小间隙而增大（分辨率降低）。

发明内容

本发明目的在于提供一种波长可变干涉滤波器、光学滤波器装置、光学模块以及电子设备，能够适当地获取设定的波段的光。

本发明用于解决上述技术问题，能够作为以下方式或实施例而实现。

根据本发明的第一方面，本实施例涉及的波长可变干涉滤波器包括：第一基板；第二基板，与上述第一基板相对；第一反射膜，设置于上述第一基板的与上述第二基板相对的面；第二反射膜，设置于上述第二基板的与上述第一基板相对的面，隔着反射膜之间间隙与上述第一反射膜相对；以及间隙变更部，使上述第二基板向接近上述第一基板的方向挠曲，从而使上述第一反射膜与上述第二反射膜之间的上述反射膜之间间隙变化。上述第一反射膜以及上述第二反射膜具有对于第二波长的光的反射率大于对于第一波长的光的反射率的反射率特性，其中，上述第二波长小于上述第一波长。

在本实施例中，间隙变更部是包括设置于第一基板的第一电极、设置于第二基板的第二电极的静电执行器。在该静电执行器中，只要使电极间相对设置即可，能够实现构成简化，从而能够实现波长可变干涉滤波器的小型化、薄型化。并且，仅仅通过改变电极间施加的电压，就能够容易地改变反射膜之间间隙，并能够容易地进行反射膜之间间隙的间隙控制。

当通过间隙变更部使第二基板向使反射膜之间间隙缩小的方向挠曲时，由于第二基板的挠曲，第二反射膜也产生微小的挠曲。从而，在该波长可变干涉滤波器中，随着缩小反射膜之间间隙，第二反射膜的挠曲增大，因此。波长可变干涉滤波器的光学特性（透过峰值波长的透过特性）随着朝向短波长方向其半幅值增大。

此时，当将具有随着朝向短波长侧的方向反射率下降的反射特性的反射膜用作第一反射膜和第二反射膜时，由于由第二反射膜的挠曲产生的影响与由反射膜的反射特性产生的影响的组合效果，波长可变干涉滤波器的光学特性随着朝向短波长侧其半幅值进一步增大，从而短波长侧的分辨率大幅度降低。而且，即使将具有对于各波长示出一定的反射率的反射特性的反射膜用作第一反射膜和第二反射膜时，由于因第二反射膜的挠曲而使分辨率降低，所以，短波长侧的分辨率也降低。

与此相对，在本实施例中，将具有随着朝向短波长侧反射率上升的反射特性的反射膜用作第一反射膜以及第二反射膜。此时，因第二反射膜的挠曲而产生的影响与基于反射膜的反射特性的影响彼此抵消，即使是在使反射膜之间间隙变化的情况下，透过峰值波长的半幅值也大致相同。因此，波长可变干涉滤波器能够使分辨率大致相同，而不受获取的光的波长的影响。

根据本发明的第二方面，在上述实施例涉及的波长可变干涉滤波器中，优选上述第一反射膜以及上述第二反射膜由AlAs构成。

在本实施例中使用AlAs作为第一反射膜以及第二反射膜。作为光学膜的AlAs，随着朝向短波长侧反射率上升，且对于包含可视光的较宽范围具有反射特性。因此，通过波长可变干涉滤波器，对于较宽的波段，能够以相同的分辨率获取所需波长的光。

根据本发明的第三方面，在上述实施例涉及的波长可变干涉滤波器中，优选第一波长为700nm，短波长为400nm。

在本实施例中，在可视区域中，上述第一反射膜以及上述第二反射膜具有随着朝向短波长侧反射率上升的反射特性。从而，通过波长可变干涉滤波器，对于包含可视光的较宽的波段，能够以相同的分辨率获取所需波长的光。