[发明专利]波长可变干涉滤波器、光学滤波器装置、光学模块及设备

权利要求书

1.一种波长可变干涉滤波器，其特征在于，所述波长可变干涉滤波器包括：

第一基板；

第二基板，与所述第一基板相对；

第一反射膜，设置于所述第一基板的与所述第二基板相对的面；

第二反射膜，设置于所述第二基板的与所述第一基板相对的面，隔着反射膜之间间隙与所述第一反射膜相对；以及

间隙变更部，使所述第二基板向接近所述第一基板的方向挠曲，从而使所述第一反射膜与所述第二反射膜之间的所述反射膜之间间隙变化，

所述第一反射膜以及所述第二反射膜具有对于第二波长的光的反射率大于对于第一波长的光的反射率的反射率特性，其中，所述第二波长小于所述第一波长。

2.根据权利要求1所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，所述第一反射膜以及所述第二反射膜由AlAs构成。

3.根据权利要求1或2所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，所述第一波长为700nm，所述第二波长为400nm。

4.根据权利要求1或2所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，所述第一波长为2500nm，所述第二波长为700nm。

5.根据权利要求1所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，

所述第二基板包括：可动部，设置有所述第二反射膜；以及保持部，设置于所述可动部的外周部，且刚性小于所述可动部，

所述保持部的刚性相对于所述可动部的可动中心呈非对称。

6.根据权利要求1所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，

所述第二基板包括：可动部，设置有所述第二反射膜；以及保持部，设置于所述可动部的外周部，且刚性小于所述可动部，

在从基板厚度方向观看所述第一基板以及所述第二基板的俯视观察中，所述间隙变更部设置于相对于所述可动部的可动中心呈非对称的位置。

7.根据权利要求1所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，

所述第二基板包括：接合部，与所述第一基板接合；以及挠曲部，通过由所述间隙变更部赋予的应力而向接近所述第一基板的方向挠曲，

所述第二反射膜设置于所述挠曲部。

8.根据权利要求7所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，所述挠曲部具有相同的厚度尺寸。

9.一种光学滤波器装置，其特征在于，所述光学滤波器装置包括：

第一基板；

第二基板，与所述第一基板相对；

第一反射膜，设置于所述第一基板的与所述第二基板相对的面；

第二反射膜，设置于所述第二基板的与所述第一基板相对的面，隔着反射膜之间间隙与所述第一反射膜相对；

间隙变更部，使所述第二基板向接近所述第一基板的方向挠曲，从而使所述第一反射膜和所述第二反射膜之间的所述反射膜之间间隙变化；以及

壳体，用于容纳所述第一基板和所述第二基板，

所述第一反射膜以及所述第二反射膜具有对于第二波长的光的反射率大于对于第一波长的光的反射率的反射率特性，其中，所述第二波长小于所述第一波长。

10.一种光学模块，其特征在于，所述光学模块包括：

第一基板；

第二基板，与所述第一基板相对；

第一反射膜，设置于所述第一基板的与所述第二基板相对的面；

第二反射膜，设置于所述第二基板的与所述第一基板相对的面，隔着反射膜之间间隙与所述第一反射膜相对；

间隙变更部，使所述第二基板向接近所述第一基板的方向挠曲，从而使所述第一反射膜与所述第二反射膜之间的所述反射膜之间间隙变化；以及

受光部，用于接受透过所述第一反射膜或所述第二反射膜的光，

所述第一反射膜以及所述第二反射膜具有对于第二波长的光的反射率大于对于第一波长的光的反射率的反射率特性，其中，所述第二波长小于所述第一波长。