[发明专利]劈裂装置有效
| 申请号： | 201310168027.7 | 申请日： | 2013-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN103878892A | 公开（公告）日： | 2014-06-25 |
| 发明（设计）人： | 蔡泰成;林永宗;许国君;许寿文 | 申请（专利权）人： | 新世纪光电股份有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 臧建明 |
| 地址： | 中国台湾台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 劈裂 装置 | ||
1.一种劈裂装置，适于沿着一工件上的至少一切割线劈裂该工件，其特征在于，该劈裂装置包括：
一劈刀，配置在该工件的上方；
一检测器，配置在该工件的上方，用以发出一信号至该工件上，而得知该工件的一规格数据；
一控制器，连接该检测器且接收该规格数据，并产生一调整数据；以及
一调整器，连接该控制器与该劈刀，其中该调整器接收该调整数据并依据该调整数据调整该劈刀的一参数数据，以使该劈刀沿着该工件上的该切割线一次劈裂该工件。
2.根据权利要求1所述的劈裂装置，其特征在于，该检测器包括一声波检测器或一光波检测器。
3.根据权利要求2所述的劈裂装置，其特征在于，该信号包括一声波信号或一光波信号。
4.根据权利要求1所述的劈裂装置，其特征在于，该规格数据包括该切割线的深度与宽度。
5.根据权利要求1所述的劈裂装置，其特征在于，该控制器包括一电脑。
6.根据权利要求1所述的劈裂装置，其特征在于，该调整器包括一致动器。
7.根据权利要求1所述的劈裂装置，其特征在于，该参数数据包括该劈刀的下刀速度与力度。
8.根据权利要求1所述的劈裂装置，其特征在于，该调整数据包括以数学方式表示的该切割线的深度与宽度。
9.根据权利要求1所述的劈裂装置，其特征在于，该工件包括一薄化晶圆。
10.根据权利要求1所述的劈裂装置，其特征在于，还包括一图像感测器，配置在该检测器旁，用以获取该工件的图样。
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