[发明专利]硅片承载器转换架

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于硅片加工生产中，将与生产线不匹配的硅片承载器用于所述生产线的硅片承载器转换的装置。

背景技术

集成电路的制造涉及在半导体基板的硅片上的多种操作。其中某些操作可能包括例如光刻、蚀刻、曝光，其中所涉及的环境一般都属于强酸和/或强碱等强腐蚀性环境，因而用于承载硅片进行相应操作的承载器及装载承载器的清洗架等装置都需要能够耐强酸及强碱腐蚀，甚至是高温条件下强酸及强碱的腐蚀，这样的材料通常选择氟塑料，例如聚四氟乙烯（PTFE）、全氟烷基乙烯基醚共聚物（PFA）、聚偏氟乙烯（PVDF）等。

随着半导体科学技术的飞速的发展，硅片的广泛应用涉及到现代社会的各行各业。因此，硅片的生产加工量不断攀升，随之形成大规模流水化作业。为了提高规模化生产中设备的利用效率，常常需要一条生产线能够清洗不同尺寸规格的硅片，例如采用一条清洗6英寸硅片的生产线，在某些时候来清洗4英寸或5英寸的硅片，从而提高生产线的利用率，降低生产成本，提高生产效率。这样的应用对于硅片承载器的转换架提出了相应的要求。

发明内容

本发明为了适应以上实际应用要求，设计了一种硅片承载器转换架，其可以载入比生产线实际清洗的硅片尺寸小的硅片承载器，从而在所述生产线上清洗这种小尺寸的硅片，这种发明目的是这样实现的：

一种硅片承载器转换架，其具有以下结构：

一个顶部框架和一个底部框架，其中顶部框架具有相对立的两个带有台阶的边沿，底部框架具有若干对平行排列的内固定棱和外固定棱以及向着左侧开口的U型棱，所述棱之间相互隔开一段距离；

一个位于左侧的挡板；

一个位于右侧的U型框架。

本发明的一个优选实施方案中，所述转换架底部靠近左侧挡板具有沿所述挡板延伸的凸条。

本发明的一个优选实施方案中，所述转换架底部下侧具有若干支架，其形状及尺寸与硅片清洗机械相配合。

本发明的一个优选实施方案中，所述转换架的各个部分通过机械加工获得，然后组合成所述转换架。

本发明的一个优选实施方案中，所述转换架的组合依靠熔融焊接进行。

本发明的一个优选实施方案中，所述转换架各个部分的材质为聚丙烯、聚偏氟乙烯、聚四氟乙烯或全氟烷基乙烯基醚共聚物。

附图说明

图1是放入本发明硅片承载器转换架中的小尺寸硅片承载器的示意图。

图2是本发明硅片承载器转换架的立体图。

图3是本发明硅片承载器转换架的组装图。

具体实施方式

参照图1-3，用标记100表示本发明的硅片承载器转换架，标记200表示需要放入所述转换架内的硅片承载器。

所述硅片承载器转换架100包括一个顶部框架110和一个底部框架120，一个位于左侧的挡板130，一个位于右侧的U型框架140。

所述顶部框架110具有相对立的两个带有台阶的边沿，台阶上的上边沿111用于与清洗硅片的生产线机械相互配合，以便将整个转换架提起或放入生产线内；台阶下的下边沿112用于卡住装入该转换架内的硅片承载器200的上侧提把201，以固定该硅片承载器200在转换架内的位置。

所述底部框架120具有若干对平行排列的内固定棱121和外固定棱122以及向着左侧开口的U型棱123，平行排列的内固定棱121与外固定棱122的间距、U型棱弯曲边与外固定棱的间距都与装入该转换架内的硅片承载器200底部支脚202的厚度相配合，以便卡住所述硅片承载器200的底部。各个所述棱之间相互隔开一段距离，构成若干缺口124，以便将硅片清洗过程中的清洗液顺利排出。所述转换架底部框架120靠近左侧挡板130的位置具有沿所述挡板130延伸的凸条125，其用于增大焊接面积，便于底部框架120与左侧挡板130的连接，另外其下侧还可具有若干支架126，其形状及尺寸与生产线中硅片清洗机械相配合。

所述位于左侧的挡板130用于固定所述硅片承载器200装入时的水平位置，其可以是一整块实心板，或者为了节省原料的目的，采用框架结构，仅在四周框架中间加入若干可以挡住硅片承载器从而固定其水平位置的挡条131。

所述位于右侧的U型框架140构成一个开口，使用该转换架时将要装入的硅片承载器由此方向沿底部框架上各个棱形成的通道推入转换架内部。