[发明专利]CdS薄膜的制备方法

权利要求书

1.一种CdS薄膜的制备方法，其特征在于包括如下步骤：

（1）清洗ITO玻璃衬底；

（2）配置反应液；

（3）将反应液置于反应槽中，然后将清洗后的ITO玻璃衬底竖直插入反应液中并固定，搅拌、升温反应液并振动反应槽或者敲打反应槽外壁，然后加入硫脲或者硫代硫酸钠，搅拌反应液并继续振动反应槽或者敲打反应槽外壁，沉积薄膜；

（4）待薄膜沉积好后，将ITO玻璃衬底取出置于去离子水中进行超声清洗，然后进行烘干，得到CdS薄膜。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于步骤（1）中ITO玻璃衬底的清洗步骤如下：先依次用丙酮、乙醇、去离子水各超声清洗ITO玻璃衬底15-20分钟；然后用HCl和H₂O₂的混合溶液超声清洗10-15min；再用去离子水超声清洗10-20分钟。

3.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于所述混合溶液中HCl的质量分数为7-10%，H₂O₂的质量分数为4-5%。

4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于步骤（2）中配置反应液的具体步骤如下：先将可溶性镉盐溶解在去离子水中配置成物质量浓度为0.001~0.02mol/L的镉盐溶液，然后加入与镉盐同酸根的铵盐，铵盐的物质量浓度为0.01~0.1 mol/L；再次加入NH₃·H₂O调节溶液pH值至10-11，得到反应液。

5.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于所述可溶性镉盐选自乙酸镉、氯化镉、碘化镉、硝酸镉、硫酸镉中的一种。

6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于步骤（3）中升温至80℃-90℃，振动反应槽或者敲打反应槽外壁，然后加入硫脲或者硫代硫酸钠，加入的硫脲或者硫代硫酸钠的物质量浓度为0.001-0.01 mol/L。

7.根据上述任一权利要求所述的制备方法，其特征在于步骤（3）中每隔3min振动反应槽或者敲打反应槽外壁30-60s。

8.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于步骤（4）中的烘干是在卤钨灯下烘烤5-10min。

9.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于步骤（3）中反应槽放置在磁力搅拌器上。