[发明专利]一种在非晶硅薄膜表面形成织构化微晶银的方法有效
| 申请号: | 201310159378.1 | 申请日: | 2013-05-03 |
| 公开(公告)号: | CN103268901A | 公开(公告)日: | 2013-08-28 |
| 发明(设计)人: | 汪远昊 | 申请(专利权)人: | 深圳市万业隆太阳能科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L31/20 |
| 代理公司: | 深圳中一专利商标事务所 44237 | 代理人: | 张全文 |
| 地址: | 518000 广东省深圳市宝安区石岩*** | 国省代码: | 广东;44 |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 非晶硅 薄膜 表面 形成 织构化微晶银 方法 | ||
技术领域
本发明属于太阳能技术领域,具体涉及一种在非晶硅薄膜表面形成织构化微晶银的方法。
背景技术
目前,为了提高非晶硅薄膜太阳电池的效率,主要通过在近红外范围内提高非晶硅薄膜的光吸收效率,是研究和技术开发者迫切需要解决的关键技术。现阶段普遍采用的技术路线为,在非晶硅薄膜表面通过化学或物理的方法形成纳米银颗粒,利用纳米银颗粒的表面等离子激元对入射光的陷光作用,达到提高器件效率的目的。
众所周知,当金属颗粒在400~500nm时,具有较强的散射光的能力。因此,在非晶硅薄膜的表面制备大颗粒的纳米银颗粒,例如微晶银,可使非晶硅薄膜实现更好的光吸收效果,进一步提高电池效率。现有的制备方法主要包括:热蒸发法,即将银蒸发镀在非晶硅薄膜表面;以及溶胶-凝胶法,即将银的溶胶旋涂在非晶硅薄膜表面。但是,上述制备方法均存在以下不足:形成的微晶银颗粒太均匀,无法有效地实现光陷阱的作用,导致光吸收效率较低。此外,热蒸发法生产成本高,工艺控制困难,对设备的要求也比较苛刻;溶胶凝胶法虽然成本低廉,但涉及的工艺步骤很繁琐。因此,急需研究一种工艺简单、对设备要求低、成本低的在非晶硅薄膜表面形成微晶银的新方法,以进一步提高非晶硅薄膜的光吸收效率。
发明内容
本发明的目的在于克服现有技术的上述不足,提供一种在非晶硅薄膜表面形成织构化微晶银的方法,以解决现有制备微晶银方法中存在的工艺繁琐复杂、对设备的要求也比较苛刻、成本高,且非晶硅薄膜的光吸收效率低的技术问题。
为了实现上述发明目的,本发明的技术方案如下:
一种在非晶硅薄膜表面形成织构化微晶银的方法,包括以下步骤:
将醋酸银与草酸溶解,配制成含有醋酸银与草酸的前驱体溶液,其中,所述醋酸银和草酸的质量比为(3.2~13.1):(0.1~0.5);
将所述前驱体溶液涂覆在非晶硅薄膜表面;
将涂覆处理后的非晶硅薄膜在200~300℃进行热处理,在非晶硅薄膜表面形成织构化微晶银。
上述醋酸银受热分解为氧化银(Ag2O),由于Ag2O热力学上不稳定,在草酸的作用下还原为单质银,然后进一步通过热处理在非晶硅薄膜表面原位诱导生长微晶银颗粒,且微晶银颗粒之间互相作用,呈不规则排列并形成空隙,因此该微晶银颗粒在微观上形成织构化结构,类似传统硅电池的光陷阱结构,当光透过织构化微晶银到达非晶硅薄膜后,被非晶硅薄膜反射到织构化微晶银的光会被该织构化微晶银又反射回到非晶硅膜表面,达到二次利用光的效果,因此该织构化结构的微晶银可起到多次反射光的作用,从而使非晶硅薄膜吸收更多光,提高非晶硅薄膜的光吸收效率。
该在非晶硅薄膜表面形成织构化微晶银颗粒的方法,只需将原料混合、涂覆、热处理即可得到产品,工艺简单易控、对设备要求低且节约成本,容易实现大规模生产。
附图说明
图1为本发明实施例在非晶硅薄膜表面形成织构化微晶银的方法的工艺流程示意图;
图2为实施例1制得的样品a的场发射扫描电镜(FESEM)图;
图3为实施例1制得的样品a的X射线衍射(XRD)图;
图4为实施例2和对比实例1、2制备的样品的反射率对比曲线。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本发明进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明,并不用于限定本发明。
本发明提供一种在非晶硅薄膜表面形成织构化微晶银的方法,该制备方法的工艺流程请参见图1,具体的包括如下步骤:
步骤S01.配制前驱体溶液:将醋酸银与草酸溶解,配制成含有醋酸银与草酸的前驱体溶液,其中,所述醋酸银和草酸的质量比为(3.2~13.1):(0.1~0.5);
步骤S02.将前驱体溶液涂覆在非晶硅薄膜表面:将步骤S01中的前驱体溶液涂覆在非晶硅薄膜表面。
步骤S03.热处理原位诱导生长微晶银颗粒:将步骤S02中的涂覆处理后的非晶硅薄膜在200~300℃进行热处理,在非晶硅薄膜表面形成织构化微晶银。
具体地,步骤S01中的前驱体溶液中,配制所述前驱体溶液所用的溶剂优选异丙醇和叔丁醇中至少一种,进一步优选异丙醇。草酸与所述溶剂的质量比优选为(0.1~0.5):(15.7~47.1)。通过控制溶剂的用量,可以调节醋酸银和草酸的反应速度,进而控制微晶银的形貌。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市万业隆太阳能科技有限公司,未经深圳市万业隆太阳能科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201310159378.1/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种小流量高压力紧凑型的平衡阀
- 下一篇:安保型汽车空压机
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的





