[发明专利]搬送夹具及基板制造方法

权利要求书

1.一种搬送夹具，是基板的搬送夹具，其特征在于包括：

夹具主体部，包含基板支撑面、多个吸附孔以及一个真空室，所述基板支撑面上载置以指定方式排列的多个独立基板，所述多个吸附孔用于分别吸附载置在所述基板支撑面上的所述多个独立基板，所述真空室与所述吸附孔连接；

减压保持部，包含用于向所述真空室供应负压的供应口、以及设置在所述供应口与所述真空室之间的真空阀；其中，

在所述真空室被供应负压的状态下所述真空阀通过被关闭而将所述真空室保持在减压状态。

2.根据权利要求1所述的搬送夹具，其特征在于：

所述真空阀包含向所述真空室开口的阀口、开闭该阀口的阀体、以及向关闭所述阀口的方向对所述阀体施加作用力的弹簧部件，

所述阀体在供应给所述供应口的负压的作用下抵抗所述弹簧部件的作用力而能够变位，通过该变位而打开所述阀口。

3.根据权利要求1或2所述的搬送夹具，其特征在于：

所述供应口是被负压供应用的供应销插入的供应口，

所述供应口的内壁上安装有用于将该内壁与插入所述供应口中的所述供应销之间予以密封的环状的密封件。

4.根据权利要求1或2所述的搬送夹具，其特征在于：

所述夹具主体部在能够从外部观察到的位置具备指示器，该指示器显示所述真空室的在所述多个独立基板被保持在所述夹具主体部上的状态下的内部空气压。

5.一种基板制造方法，其特征在于包括以下步骤：

基板设置步骤，使权利要求1至4中任一项所述的搬送夹具保持多个独立基板；

印刷步骤，将焊料糊剂印刷在形成于所述多个独立基板的表面的焊盘上；其中，

所述基板设置步骤中，利用预先获取的数据即所述印刷步骤中使用的模板的开口位置数据，以所述模板的开口与所述独立基板的焊盘一致的方式使所述多个独立基板分别设置在所述搬送夹具的所述夹具主体部上。

6.根据权利要求5所述的基板制造方法，其特征在于还包括以下步骤：

元件安装步骤，将电子元件载置在印刷有所述焊料糊剂的所述多个独立基板的表面上；其中，

所述元件安装步骤中，在维持由所述搬送夹具保持所述多个独立基板的状态下，将电子元件载置在该多个独立基板的表面上。