[发明专利]颗粒收集装置及尾气处理系统在审
| 申请号： | 201310141393.3 | 申请日： | 2013-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN104107601A | 公开（公告）日： | 2014-10-22 |
| 发明（设计）人： | 侯宁 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | B01D46/24 | 分类号： | B01D46/24;B01D50/00 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100026 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 颗粒 收集 装置 尾气 处理 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种颗粒收集装置，其特征在于：包括管道本体和滤网；
所述管道本体的下方为进气口，上方为出气口；
所述滤网设置于所述管道本体的内部，并且罩住所述出气口。
2.根据权利要求1所述的颗粒收集装置，其特征在于：所述滤网的网口焊接在焊接法兰上，所述焊接法兰可拆卸地固定在所述管道本体的出气口。
3.根据权利要求2所述的颗粒收集装置，其特征在于：所述滤网外部设置有支撑件，所述支撑件焊接在所述焊接法兰上。
4.根据权利要求3所述的颗粒收集装置，其特征在于：所述支撑件为带有冲孔的钢板。
5.根据权利要求1所述的颗粒收集装置，其特征在于：所述滤网为80目滤网。
6.根据权利要求1所述的颗粒收集装置，其特征在于：所述管道本体中设置有喷淋装置。
7.根据权利要求1所述的颗粒收集装置，其特征在于：所述管道本体的内壁和/或外壁上设置有冷却管路。
8.一种尾气处理系统，用于处理半导体刻蚀工艺，其特征在于：包括干泵和权利要求1至7任一项所述的颗粒收集装置；
所述干泵用于抽出半导体刻蚀工艺产生的尾气；
所述颗粒收集装置的管道本体的进气口连接至所述干泵，所述管道本体的出气口连接至下一阶段的尾气处理装置。
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