[发明专利]一种具有锯齿状内侧边缘电极的薄膜体声波谐振器有效
| 申请号： | 201310138347.8 | 申请日： | 2013-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN103269209A | 公开（公告）日： | 2013-08-28 |
| 发明（设计）人： | 王璟璟;陈达;孙学军;金荧荧;干耀国 | 申请（专利权）人： | 山东科技大学 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266590 山东省青*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 具有 锯齿状 内侧 边缘 电极 薄膜 声波 谐振器 | ||
【权利要求书】：
1.一种具有锯齿状内侧边缘电极的薄膜体声波谐振器，包括基片、声反射层、压电层以及设置于压电层表面的至少一对电极对，其特征在于，电极对中两个电极的内侧边缘为至少包含两个尖齿的锯齿形状，外侧边缘为相互平行的直线，两个电极的长度相同。
2.根据权利要求1所述的一种具有锯齿状内侧边缘电极的薄膜体声波谐振器，其特征在于， 电极对中两个电极的内侧边缘沿垂直外侧边缘方向的间隔距离为电极长度的四十分之一至二十分之一。
3.根据权利要求1所述的一种具有锯齿状内侧边缘电极的薄膜体声波谐振器，其特征在于，同一电极的内侧边缘与其外侧边缘之间沿垂直外侧边缘方向的间隔距离为电极长度的三十分之一至十分之一。
4.根据权利要求1所述的一种具有锯齿状内侧边缘电极的薄膜体声波谐振器，其特征在于，电极内侧边缘中尖齿的张角为30度至150度。
5.根据权利要求1所述的一种具有锯齿状内侧边缘电极的薄膜体声波谐振器，其特征在于，电极对中两个电极的面积相等，且大于两个电极间隔面积的五倍。
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