[发明专利]微机电系统（MEMS）驱动器

说明书

技术领域

本申请涉及微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System，MEMS)，更具体地，涉及用于MEMS设备的驱动器。 

背景技术

微机电系统(MEMS)包括使用与用于制造集成电路的技术类似的光刻(photo-lithography)技术制造的、履行机电功能的小型机械设备。一些MEMS设备为可检测移动的传感器(例如，加速度计)、或为可检测角速率的传感器(例如陀螺仪)。一些MEMS陀螺仪包括驱动器，所述驱动器振荡所述MEMS陀螺仪的检测质量块(proof mass)，以允许陀螺仪传感转动移动。 

发明内容

本申请涉及微机电系统(MEMS)，更具体地，涉及用于MEMS设备的驱动器。在一示例中，用于MEMS设备的驱动器可包括：第一输入端，被配置为接收包括振荡指令信号的第一指令信号；第二输入端，被配置为接收包括偏置指令信号的第二指令信号；以及放大器，被配置为：接收高压电源，在第一状态下向所述MEMS设备提供响应于所述第一指令信号和所述第二指令信号的闭合回路输出信号，以及，在第二状态下提供配置为基本跨越所述高压电源的电压范围的开放回路输出信号。 

在一示例中，提供一种方法，可包括：产生第一指令信号，所述第一指令信号包括振荡指令信号；产生第二指令信号，所述第二指令信号包括偏置指令信号；当所述驱动器处于第一状态时，在所述驱动器的输出端处提供响应于所述第一指令信号和所述第二指令信号的闭合回路输出信号；以及当所述驱动器处于第二状态时，在所述驱动器的输出端处提供配置为基本跨越所述驱动器的 高压电源的电压范围的开放回路输出信号。 

在一示例中，提供一种系统，可包括： 

MEMS设备；以及 

驱动器，被配置为向所述MEMS设备提供输出信号，其中所述驱动器包括： 

第一输入端，被配置为接收包括振荡指令信号的第一指令信号； 

第二输入端，被配置为接收包括偏置指令信号的第二指令信号；以及 

放大器，被配置为接收高压电源，所述放大器被配置为：在第一状态下向所述MEMS设备提供响应于所述第一指令信号和所述第二指令信号的闭合回路输出信号，以及，在第二状态下提供配置为基本跨越所述高压电源的电压范围的开放回路输出信号。 

本发明内容用于提供对本专利申请的主题的一般综述。其不用于提供本申请的排它或穷尽的解释。具体实施方式用于提供关于本专利申请的进一步的信息。 

附图说明

附图不一定按比例绘制，附图中，不同视图中相同的附图标记可以描述相同的组成部分。具有不同字母后缀的相同的附图标记可以代表相同组成部分的不同实例。附图总的来说通过示例而非限制的方式示出了本申请中讨论的各种实施例。 

图1大体示出了与MEMS传感器系统集成在一起的MEMS驱动器示例的框图。 

图2大体示出了MEMS驱动器的示例。 

图3大体示出了MEMS驱动器的示例。 

图4大体示出了高压放大器的示例。 

具体实施方式

MEMS传感器(例如MEMS陀螺仪)可使用振动的检测质量块的偏转提 供移动检测和测量信号。检测质量块偏转可由起因于陀螺仪的转动移动的科里奥利力和振动的检测质量块的移动的组合引起。可在各种小型移动电子设备中使用MEMS传感器，所述各种小型移动电子设备包括但不限于：手机、个人数字助手、(例如用于远足和露营的)休闲工具以及游戏控制器。本发明人认识到可提供改善的性能、可节省成本费用并可使用更少功率的用于驱动MEMS检测质量块的高压驱动器。