[发明专利]微机电系统（MEMS）驱动器

权利要求书

1.一种用于微机电系统(MEMS)设备的驱动器，包括：

第一输入端，被配置为接收包括振荡指令信号的第一指令信号；

第二输入端，被配置为接收包括偏置指令信号的第二指令信号；以及

放大器，被配置为接收高压电源，所述放大器被配置为：在第一状态下向所述MEMS设备提供响应于所述第一指令信号和所述第二指令信号的闭合回路输出信号，以及，在第二状态下提供配置为基本跨越所述高压电源的电压范围的开放回路输出信号。

2.根据权利要求1所述的驱动器，包括电连接到所述放大器的输出端的第一反馈路径，其中所述反馈路径包括响应于启动信号的状态的反馈开关，其中所述放大器在所述启动信号处于启动状态时提供所述开放回路输出信号。

3.根据权利要求2所述的驱动器，其中所述放大器在所述启动信号处于非启动状态时提供由所述第一指令信号和所述第二指令信号调制的闭合回路输出信号。

4.根据权利要求1所述的驱动器，包括电连接到所述第一输入端的第一增益块和电连接到所述第二输入端的第二增益块，其中由所述第一增益块提供给所述第一指令信号的增益独立于由所述第二增益块提供给所述第二指令信号的增益。

5.根据权利要求1所述的驱动器，包括电连接到所述放大器的第一输出端的第一反馈路径和电连接到所述放大器的第二输出端的第二反馈路径，其中所述放大器被配置为：在所述第一状态下向所述MEMS设备提供响应于所述第一指令信号和所述第二指令信号的差动闭合回路输出信号，以及，在所述第二状态下提供基本跨越所述高压电源的电压范围的差动开放回路输出信号。

6.根据权利要求5所述的驱动器，其中所述第一输入端为差动第一输入端，被配置为接收包括差动振荡指令信号的第一差动指令信号。

7.根据权利要求6所述的驱动器，包括电连接到所述差动第一输入端的第一增益块和电连接到所述第二输入端的第二增益块，其中由所述第一增益块提供给所述第一差动指令信号的增益独立于由所述第二增益块提供给所述第二指令信号的增益。

8.根据权利要求6所述的驱动器，包括电连接到所述第一差动输入端的第一求和结点和第二求和结点，所述第一求和结点和第二求和结点被配置为对所述第一差动指令信号和所述第二指令信号求和。

9.根据权利要求1所述的驱动器，其中所述放大器包括多个高侧电流源和多个低侧电流源，其中所述高侧电流源制造为比所述低侧电流源承受更高的电压。

10.一种方法，包括：

产生第一指令信号，所述第一指令信号包括振荡指令信号；

产生第二指令信号，所述第二指令信号包括偏置指令信号；

当所述驱动器处于第一状态时，在所述驱动器的输出端处提供响应于所述第一指令信号和所述第二指令信号的闭合回路输出信号；以及

当所述驱动器处于第二状态时，在所述驱动器的输出端处提供配置为基本跨越所述驱动器的高压电源的电压范围的开放回路输出信号。

11.根据权利要求10所述的方法，包括通过反馈开关反馈所述驱动器的输出，其中所述反馈开关响应于启动信号的状态，其中所述驱动器在所述启动信号处于启动状态时提供所述开放回路输出信号。

12.根据权利要求11所述的方法，其中所述驱动器在所述启动信号处于非启动状态时提供由所述第一指令信号和所述第二指令信号调制的闭合回路输出信号。

13.根据权利要求10所述的方法，包括向所述第一指令信号提供独立于向所述第二指令信号提供的增益的增益。

14.根据权利要求10所述的方法，包括：

通过第一反馈开关反馈所述驱动器的第一输出，并通过第二反馈开关反馈所述驱动器的第二输出，其中所述第一反馈开关和所述第二反馈开关响应于启动信号的状态；

在所述第一状态下向所述MEMS设备提供响应于所述第一指令信号和所述第二指令信号的差动闭合回路输出信号；以及

在所述第二状态下提供基本跨越所述高压电源的电压范围的差动开放回路输出信号。