[发明专利]半导体生产设备的数据传输处理方法和系统

说明书

技术领域

本发明涉及半导体自动控制技术领域，特别是涉及一种半导体生产设备的数据传输处理方法和系统。

背景技术

当前半导体生产的工厂设备（Fab Host）中，对工厂自动化程度要求都比较高，需要尽量减少手动操作，一般地，通过集群设备控制器（Cluster Tool Controller，CTC）发送自动化控制指令到工厂设备，控制工厂设备运行，并接收从工厂设备传输回来的工厂设备运行数据。因此，在半导体生产工艺中，对半导体集群控制器的设备控制软件系统的健壮性要求比较高。

目前半导体生产的工厂设备（Fab Host）机台采用的是FA（Factory Automation，工厂自动化）、Bridge（桥接）软件系统作为工厂设备与集群设备控制器的设备控制软件系统交互的中间部分。

半导体集群设备控制器的设备控制软件系统包含三大模块：集群设备控制器（Cluster Tool Controller，CTC）系统、工艺模块控制器（Process Module Controller，PMC）系统、传输模块控制器（Transport Module Controller，TMC）系统，这三大模块系统之间又通过相应的接口模块连接在一起，经过自动功率控制器（Automatic Power Controller，APC）系统收集工艺数据后，发送给终点检测软件系统（Spectra View）进行检测，其总体结构如图1所示。

集群设备控制器（CTC）系统负责处理和协调工艺模块控制器（PMC）系统和传输模块控制器（TMC）系统，其主要功能是执行工艺任务（Job），并维护与任务相关的操作流程。

一个任务（Job）就是将材料从源片盒（Source Cassette）送入一个或多个工艺反应腔中，经过工艺处理，再传送室目的片盒（Destination Cassette）的过程。

工艺模块控制器（PMC）系统和传输模块控制器（TMC）系统都通过输入/输出（I/O）接口实现对相联接并受集群设备控制器（CTC）系统的控制。

而FA系统用于解析工厂端软件发送的遵循SEMI标准的消息，Bridge系统实现FA系统与集群设备控制器的设备控制软件系统之间的消息、事件的传递。

一般地，bridge系统的数据处理可以有两类：一类是从FA系统发起通知给Bridge系统，Bridge系统进行处理后再转发给设备控制软件系统；另一类是从设备控制软件系统通过Bridge系统转发给FA系统的数据。

现有技术中，在数据从设备控制软件系统通过Bridge系统转发给FA系统的过程中，Bridge系统本身不对数据做处理，只是把设备控制软件系统上传的数据通过FA系统直接上传给工厂端软件系统，这样，在设备控制软件系统上传的数据存在问题时也会通过FA系统直接上传给工厂端软件，当设备控制软件系统上传的数据出现数据为空、数据不全或者相同数据重发多次等情况时，Bridge系统不作任何处理，导致发给工厂的数据会出现多采或者漏采的现象，如果是漏采就会出现数据不全的情况，给分析数据带来了影响，如果是多采，工厂端软件系统任务就会异常报错，造成生产暂时中断，需人工干预才能解决，降低了生产的效率，造成了生产效率的下降。

发明内容

本发明提供了一种半导体生产设备的数据传输处理方法和系统，其保证通过FA系统上传给工厂端软件系统的数据的正确性和完整性。

为实现本发明目的而提供的一种半导体生产设备的数据传输处理方法，包括如下步骤：

接收从设备控制软件系统通过Bridge系统转发给FA系统的半导体生产设备的运行数据；

对所述接收到的运行数据进行检测，检测判断所述运行数据的正确性和/或完整性，并根据判断结果对所接收到的所述运行数据进行处理后传输给FA系统。

较优地，作为一种可实施例，对运行数据进行检测，检测判断所述运行数据的正确性和/或完整性，并根据判断结果对所接收到的所述运行数据进行处理，包括如下步骤：

检测所接收到的所述设备控制软件系统上传的运行数据，判断所接收到的运行数据内容是否为空；

如果判断所接收到的运行数据内容为空，则控制所述接收到的运行数据不通过FA系统上传给工厂端软件系统，并发送请求重发全部运行数据消息给设备控制软件系统，请求设备控制软件系统重发上传所述接收到的运行数据，等待重新接收运行数据；

如果判断所接收到的运行数据内容不为空，则控制将所接收到的运行数据通过FA系统上传给工厂端软件系统。