[发明专利]半导体生产设备的数据传输处理方法和系统

权利要求书

1.一种半导体生产设备的数据传输处理方法，其特征在于，包括如下步骤：

接收从设备控制软件系统通过Bridge系统转发给FA系统的半导体生产设备的运行数据；

对所述接收到的运行数据进行检测，检测判断所述运行数据的正确性和/或完整性，并根据判断结果对所接收到的所述运行数据进行处理后传输给FA系统。

2.根据权利要求1所述的半导体生产设备的数据传输处理方法，其特征在于，对运行数据进行检测，检测判断所述运行数据的正确性和/或完整性，并根据判断结果对所接收到的所述运行数据进行处理，包括如下步骤：

检测所接收到的所述设备控制软件系统上传的运行数据，判断所接收到的运行数据内容是否为空；

如果判断所接收到的运行数据内容为空，则控制所述接收到的运行数据不通过FA系统上传给工厂端软件系统，并发送请求重发全部运行数据消息给设备控制软件系统，请求设备控制软件系统重发上传所述接收到的运行数据，等待重新接收运行数据；

如果判断所接收到的运行数据内容不为空，则控制将所接收到的运行数据通过FA系统上传给工厂端软件系统。

3.根据权利要求2所述的半导体生产设备的数据传输处理方法，其特征在于，在检测到所接收到的运行数据内容不为空后，在将所接收到的运行数据通过FA系统上传给工厂端软件系统之前，还包括如下步骤：

根据预设的运行数据结构，检测所接收到的所述设备控制软件系统上传不为空的运行数据，判断所接收到的运行数据的内容是否完整；

如果所接收到的运行数据完整，则直接将所述完整的运行数据存储到Bridge系统中并返回上传；否则，如果所接收到的运行数据的内容不完整时，则在Bridge系统中存储所述内容不完整的运行数据，并发送请求重发部分运行数据消息给所述设备控制软件系统，请求设备控制软件系统重发需要补充的部分运行数据，返回等待重新接收需要补充的部分运行数据；

在接收到需要补充的部分运行数据后，按所述预设的运行数据结构，把重发并被接收到的部分运行数据与已经接收到的运行数据合并；

将所述完整的运行数据存储到Bridge系统中并返回上传。

4.根据权利要求3所述的半导体生产设备的数据传输处理方法，其特征在于，在将完整的运行数据存储并返回前，还包括如下步骤：

将所述接收到的完整的运行数据与Bridge系统中已经存储的运行数据进行比较，并根据比较结果判断所接收的运行数据是否为重复上传数据；

当判断所接收的运行数据为重复上传数据时，则将所接收的重复上传数据直接丢弃后结束返回；否则，将未重复上传的运行数据返回上传。

5.根据权利要求1至4任一项所述的半导体生产设备的数据传输处理方法，其特征在于，所述运行数据包括半导体生产设备的工艺参数数据，或者半导体生产进程数据，或者半导体生产设备的运行环境数据中的一种或者多种。

6.一种半导体生产设备的数据传输处理的Bridge系统，电连接在半导体生产设备的设备控制软件系统和FA系统之间，其特征在于，包括接收模块和处理模块，其中：

所述接收模块，用于接收从设备控制软件系统通过Bridge系统转发给FA系统的半导体生产设备的运行数据；

所述处理模块，用于对所述接收到的运行数据进行检测，检测判断所述运行数据的正确性和/或完整性，并根据判断结果对所接收到的所述运行数据进行处理。

7.根据权利要求6所述的半导体生产设备的数据传输处理的Bridge系统，其特征在于，所述处理模块包括第一检测判断子模块，第一判断处理子模块，第二判断处理子模块，其中：

所述第一检测判断子模块，用于检测所接收到的所述设备控制软件系统上传的运行数据，判断所接收到的运行数据内容是否为空；

所述第一判断处理子模块，用于判断所接收到的运行数据内容为空时，控制所接收到的运行数据不通过FA系统上传给工厂端软件系统，并发送请求重发全部运行数据消息给设备控制软件系统，请求设备控制软件系统重发上传所述接收到的运行数据，等待重新接收运行数据；

所述第二判断处理子模块，用于判断所接收到的运行数据内容不为空时，控制将所接收到的运行数据通过FA系统上传给工厂端软件系统。