[发明专利]一种碳纳米复合材料的制备方法

权利要求书

1.一种碳纳米复合材料的制备方法，具体包括如下步骤：

1)利用CVD方法制备单层或多层石墨烯；

2)将石墨烯转移到目标衬底上；

3)在石墨烯与目标衬底的结构上面涂覆光刻胶，用电感耦合等离子体方法轰击，使光刻胶变性，然后泡掉残余的光刻胶；

4)将上述经过轰击的光刻胶、石墨烯和目标衬底一并进行高温处理，使光刻胶碳化，形成碳纳米复合材料。

2.如权利要求1所述的碳纳米复合材料的制备方法，其特征在于，步骤1）中所述CVD方法制备石墨烯材料所用的碳源是固态碳源、液态碳源或气态碳源，催化剂是Cu、Ni、Fe等金属薄膜，加热过程中炉温升到400℃到1200℃之间。

3.如权利要求1所述的碳纳米复合材料的制备方法，其特征在于，步骤2）具体步骤为：通过甩胶机将聚合物涂覆在金属薄膜一侧面上的石墨烯上，而金属薄膜的另一侧面的石墨烯通过电感耦合等离子体轰击去掉，然后再通过电化学方法或者湿法刻蚀方法将金属催化剂刻蚀掉，石墨烯置于目标衬底表面，去掉PMMA，获得转移至目标衬底上的石墨烯。

4.如权利要求1所述的碳纳米复合材料的制备方法，其特征在于，步骤3）中光阻剂厚度为50nm-500nm之间，轰击的参数：RIE在25W-150W之间，ICP在0W-250W之间，气压在5mtorr-120mtorr之间，氧气气流为：5sccm-100sccm，轰击时间从2min-100min之间。

5.如权利要求1所述的碳纳米复合材料的制备方法，其特征在于，步骤4）在真空或惰性气氛下高温处理，具体的工艺参数：温度范围在300℃-1200℃之间，退火时间在10min-150min之间。