[发明专利]波长可变干涉滤波器、光滤波器装置、光模块及电子设备

说明书

技术领域

本发明涉及波长可变干涉滤波器、光滤波器装置、光模块以及电子设备。

背景技术

现有技术中已知有如下所述的波长可变干涉滤波器：通过彼此相对的两张反射膜，在取出规定的目的波长的光的波长可变干涉滤波器中使两张反射膜间间隙尺寸发生改变，从而使取出的光的波长改变(例如参照专利文献1)。

专利文献1中记载的波长可变干涉滤波器(法布里-珀罗滤波器)包括：基板；设置在基板上的第一反射膜(第一反射镜)；以及隔着规定的间隙(反射膜间间隙)与第一反射膜相对设置的第二反射膜(第二反射镜)。并且，第一反射膜上设置有相对于透过光的区域左右对称的第一电极，第二反射膜的与基板相对的面上设置有相对于透过光的区域左右对称且与第一电极相对的第二电极。

在这种波长可变干涉滤波器中，由第一电极和第二电极彼此相对的区域构成静电致动器，可以通过在电极间施加电压，从而基于静电引力使反射膜间间隙发生改变。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2001-221913号公报

然而，在上述专利文献1记载的波长可变干涉滤波器中，第一电极以及第二电极虽然设置成彼此相对，但由于制造时基板的接合错位等，存在上下的电极位置偏离的情况。在这种情况下，由于作为静电致动器而发挥作用的区域减少，因而存在无法保持静电致动器的特性、反射膜间间隙的间隙控制的精度降低的问题。

发明内容

本发明目的在于提供即使在制造时产生了基板接合错位也能够维持反射膜间间隙的间隙控制精度的波长可变干涉滤波器、光滤波器装置、光模块以及电子设备。

本发明的波长可变干涉滤波器，其特征在于，具有：第一基板；第二基板，与上述第一基板相对设置；第一反射膜，设置在上述第一基板上；第二反射膜，设置在上述第二基板上，隔着反射膜间间隙与上述第一反射膜相对；第一电极，设置在上述第一基板上；以及第二电极，设置在上述第二基板上，与上述第一电极相对，在从基板厚度方向俯视观察上述第一基板以及上述第二基板时，上述第一电极以及上述第二电极设置在上述第一反射膜以及上述第二反射膜重合的光干涉区域的外侧，在上述俯视观察中，上述第一电极的上述光干涉区域侧的边缘位于比上述第二电极的边缘更靠近上述光干涉区域的一侧，在上述俯视观察中，上述第一电极的与上述光干涉区域相反侧的边缘位于比上述第二电极的边缘更远离上述光干涉区域的一侧。

在本发明中，设置在第一基板上的第一电极与设置在第二基板上的第二电极彼此相对设置。因而，能够由这些第一电极以及第二电极之间彼此相对的区域构成静电致动器，通过在电极间施加电压产生静电引力从而改变反射膜间间隙。

这里，在本发明的俯视观察中，第一电极的光干涉区域侧的边缘位于比第二电极的光干涉区域侧的边缘更靠近光干涉区域的一侧。并且，第一电极的与光干涉区域相反一侧的边缘位于比第二电极的与光干涉区域相反侧的边缘更远离光干涉区域的一侧。例如，在俯视观察中，当第一电极以及第二电极沿着设置在光干涉区域的外圆周侧的环状假想线设置时，第一电极的宽度尺寸大于第二电极的宽度尺寸，且在俯视观察中第二电极设置在第一电极的内侧。

在这种结构中，接合第一基板和第二基板时即使产生了微小的接合错位，构成静电致动器的第一电极以及第二电极的相对部分的区域面积也不会减少。因此，能够维持静电致动器的特性，并能够抑制间隙控制中的精度降低。

本发明的波长可变干涉滤波器还具有：第一引出电极，与上述第一电极连接；以及第二引出电极，与上述第二电极连接，优选在上述俯视观察中，上述第一电极具有多个第一部分电极，在上述俯视观察中，上述第一引出电极设置在与上述第二电极以及上述第二引出电极不重叠的位置，在上述俯视观察中，上述第二引出电极在与多个上述第一部分电极中的任意两个之间的区域重叠的位置与上述第二电极连接。

通常，在第一电极设置在第一基板的与第二基板相对的面上、第二电极设置在第二基板的与第一基板相对的面上等情况下，设置有用于设定第一电极电位的与第一电极连接的第一引出电极，以及用于设定第二电极电位的与第二电极连接的第二引出电极。

在这种情况下，以在俯视观察中第一电极以及第二引出电极的一部分、第二电极以及第一引出电极的一部分分别重叠的方式设计波长可变干涉滤波器时，当产生了基板彼此间的接合错位时则导致电极以及引出电极的重合区域的面积改变。此外，即使在设计成仅仅第一电极以及第二电极重合、而第一引出电极或第二引出电极与第一电极或第二电极不重合的情况下，当产生了接合错位时，也存在例如产生第一电极和第二引出电极重合的区域的可能性。