[发明专利]波长可变干涉滤波器、光滤波器装置、光模块及电子设备

权利要求书

1.一种波长可变干涉滤波器，其特征在于，具有：

第一基板；

第二基板，与所述第一基板相对设置；

第一反射膜，设置在所述第一基板上；

第二反射膜，设置在所述第二基板上，隔着间隙与所述第一反射膜相对；

第一电极，设置在所述第一基板上；

第二电极，设置在所述第二基板上，与所述第一电极相对；

第一引出电极，与所述第一电极连接；以及

第二引出电极，与所述第二电极连接，

其中，在从基板厚度方向俯视观察所述第一基板以及所述第二基板时，所述第一电极以及所述第二电极设置在所述第一反射膜以及所述第二反射膜重合的光干涉区域的外侧，

在所述俯视观察中，所述第一电极的所述光干涉区域侧的边缘位于比所述第二电极的所述光干涉区域侧的边缘更靠近所述光干涉区域的一侧，

在所述俯视观察中，所述第一电极的与所述光干涉区域相反一侧的边缘位于比所述第二电极的与所述光干涉区域相反一侧的边缘更远离所述光干涉区域的一侧，

在所述俯视观察中，所述第一电极具有多个第一部分电极，

在所述俯视观察中，所述第一引出电极设置在与所述第二电极以及所述第二引出电极不重叠的位置，

在所述俯视观察中，所述第二引出电极在与多个所述第一部分电极中的任意两个之间的区域重叠的位置与所述第二电极连接。

2.根据权利要求1所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，

所述第一电极具有连接相邻的两个所述第一部分电极的第一连接电极，在所述俯视观察中所述第一连接电极设置在与所述第二电极以及所述第二引出电极不重叠的位置上。

3.一种光滤波器装置，其特征在于，具有：

波长可变干涉滤波器以及收容所述波长可变干涉滤波器的壳体，

所述波长可变干涉滤波器具有：第一基板；第二基板，与所述第一基板相对设置；第一反射膜，设置在所述第一基板上；第二反射膜，设置在所述第二基板上，隔着间隙与所述第一反射膜相对；第一电极，设置在所述第一基板上；第二电极，设置在所述第二基板上，与所述第一电极相对；第一引出电极，与所述第一电极连接；以及第二引出电极，与所述第二电极连接，

其中，在从基板厚度方向俯视观察所述第一基板以及所述第二基板时，所述第一电极以及所述第二电极设置在所述第一反射膜以及所述第二反射膜重合的光干涉区域的外侧，

在所述俯视观察中，所述第一电极的所述光干涉区域侧的边缘位于比所述第二电极的所述光干涉区域侧的边缘更靠近所述光干涉区域的一侧，

在所述俯视观察中，所述第一电极的与所述光干涉区域相反一侧的边缘位于比所述第二电极的与所述光干涉区域相反一侧的边缘更远离所述光干涉区域的一侧，

在所述俯视观察中，所述第一电极具有多个第一部分电极，

在所述俯视观察中，所述第一引出电极设置在与所述第二电极以及所述第二引出电极不重叠的位置，

在所述俯视观察中，所述第二引出电极在与多个所述第一部分电极中的任意两个之间的区域重叠的位置与所述第二电极连接。