[发明专利]基板的垂直搬送装置

说明书

本发明是有关于一种防止基板从定位部往拾取部载移时位置偏移的基板的垂直搬送装置。具备：具有支持构件及调整载置于该支持构件上的基板位置的定位单元的定位装载机、可对载置于支持构件上的基板进行吸附并使其上升及下降的吸附升降单元以及将基板在借由拾取构件拾取的状态下往刻划单元进行搬送的拾取步骤传送部；借由吸附升降单元的下降动作，进行基板的从定位装载机往拾取步骤传送部的载换。

技术领域

本发明有关于一种基板的垂直搬送装置，特别是有关于一种可以使由脆性材料等构成的基板在已正确定位的状态下垂直地移动往拾取(chucking)步骤的基板的垂直搬送装置。

背景技术

在图1，表示在现有习知技术中，将已投入供给装载机(loader)的基板，搬送至进行刻划步骤的刻划传送部的传送装置。如图1所示，为了对已投入供给装载机A的基板1以配合用途而进行刻划，必须水平地将基板1搬送至刻划传送部D上的刻划单元30。

因此，首先，使供给装载机A的传送带3旋转，而将基板1搬送至定位装载机B。定位装载机B，进行定位基板1的X轴、Y轴位置的作业。

在定位装载机B的上方，设置有用于使基板1视需要而旋转的回旋单元22。回旋单元22，一般在基板1的纵向、横向的长度为相同的情形下不使用，在基板1的纵向、横向的长度互为不同的情形下使用。在回旋单元22上，设置有用于使回旋单元22上升及下降的上下驱动单元20，且在回旋单元22的下面，安装有用于吸附基板1的吸附垫(pad)24。

在改变供给于定位装载机B上的基板1的朝向时，首先，驱动上下驱动单元20使回旋单元22朝向基板1下降。接着，借由安装于回旋单元22下面的吸附垫24对基板1进行吸附。一旦吸附，驱动上下驱动单元20使基板1往上方抬起。利用吸附垫24而吸附的基板1，当借由上下驱动单元20上升至一定的高度时，使基板1旋转。之后，驱动上下驱动单元20，使基板1下降至定位装载机B的上面。然后，解除吸附垫24的吸附，在将基板1载置于定位装载机B上之后，驱动上下驱动单元20，使回旋单元22上升且回归到最初的位置。

在将基板1从定位装载机B往下一步骤的拾取步骤传送部C进行搬送之前，使用设置于定位装载机B的前后左右的定位单元10，进行基板1的X轴、Y轴的位置调整。此为了借由正确地进行基板1的定位，而实行高精度的刻划。在借由定位单元10对基板1的X轴、Y轴的位置正确地调整后，往下一步骤即拾取步骤传送部C进行搬送。

可是，在基板1从定位装载机B的传送带6往拾取步骤传送部C的传送带9载移时，会产生微小的位置偏移。具体而言，各传送带的微小的高低落差与旋转速度的落差，会导致基板1的位置偏移。

一旦在仍处于位置已偏移的状态下于拾取步骤传送部C上拾取，存在有以下的问题：在借由安装于刻划单元30的刻划头的刀具前进或后退而刻划后，无法获得所希望的高尺寸精度的单位基板。此外，亦存在有在刻划作业的途中拾取偏移、基板破裂等问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种可在基板正确地定位后，进行刻划作业的基板的垂直搬送装置，其能够防止基板从定位部往拾取部载移时位置偏移。

本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。本发明提出一种基板的垂直搬送装置，具备：具有支持构件以及调整载置于该支持构件上的基板位置的定位单元的定位装载机、可对载置于该支持构件上的基板进行吸附并使其上升及下降的吸附升降单元以及将该基板在借由拾取构件拾取的状态下往刻划单元进行搬送的拾取步骤传送部；借由该吸附升降单元的下降动作，进行基板的从该定位装载机往该拾取步骤传送部的载换。

本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。

较佳的，前述的基板的垂直搬送装置，其中该支持构件可在水平方向移动。