[发明专利]陀螺传感器、电子设备以及移动体

说明书

技术领域

本发明涉及陀螺传感器、电子设备以及移动体。

背景技术

近年来，开发出了使用例如硅MEMS（Micro Electro Mechanical System：微电子机械系统）技术来检测角速度的陀螺传感器（静电容型MEMS陀螺传感器元件）。例如在专利文献1中公开了一种陀螺传感器，该陀螺传感器具备，通过弹簧而连结有两个振动体（可动结构体）并使该振动体振动（也称为音叉振动）的驱动系统。

在制造这样的陀螺传感器时，使用湿式蚀刻等细微加工技术，由设置在制造用的基座上的硅基板来逐个地准备硅结构体，该硅结构体由设置有支承用弹簧和连结用弹簧的振动体构成。接着，通过将连结用弹簧相互连接起来，从而能够制造出具备上述结构的陀螺传感器。

可是，在上述的制造工艺中，由于将两个振动体相互连接而形成，所以连结部会比较柔软。因此，在湿式蚀刻处理中，在通过蚀刻来除去牺牲层时，有时会由于蚀刻剂的水分汽化时产生的表面张力所引起的弯液面力和静电力等的作用而使连结部分剥落，并附着在基体上（以下，称为“粘着（Sticking）”）。

作为防止这种粘着的解决对策，考虑到在两个弹簧的连结部处设置固定支承连结部的固定器（Anchor），从而将连结部固定在基板上。可是，在这样的结构中，在由两个振动体构成的驱动系统以反相进行振动时，固定器会阻碍相互之间振动能量的交换。在这里，所谓反相是指，两个振动体以相互远离的方式运动或者以相互接近的方式运动。另外，所谓同相是指，两个振动体在相同方向上运动。

专利文献1：日本特表2006－515928号公报

发明内容

本发明几个实施方式相所涉及的目的之一在于，提供一种陀螺传感器，其在两个振动体以反相振动的驱动系统中，能够在不会阻碍相互之间振动能量的交换的条件下防止粘着。另外，本发明几个实施方式所涉及的目的之一在于，提供具有上述陀螺传感器的电子设备。

本发明是为了解决上述问题的至少一部分而做出的，其能够作为以下的实施方式或者应用例来实现。

［应用例1］

本应用例所涉及的陀螺传感器包括：

基体，其具有第1固定部以及第2固定部；

振动体，其以存在间隔的方式而设置在所述基体的上方；

弹簧部，其从所述第1固定部起到所述振动体为止在沿着第1轴的方向上延伸；

驱动部，其对所述振动体进行激励；

检测部，其被设置在所述振动体上，

所述振动体在俯视观察时具有：

第1振动体及第2振动体，其在沿着所述第1轴的方向上并排设置，并相互反相地进行振动；

连结弹簧部，其在沿着所述第1轴的方向上，对所述第1振动体及第2振动体进行连结，

弹性体，其从所述连结弹簧部起在沿着与所述第1轴交叉的第2轴的方向上延伸，并被固定在所述第2固定部上。

根据这样的陀螺传感器，连结弹簧部经由能够进行弹性变形的弹性体而被间接地固定在第2固定部上。通过支承有连结弹簧部，从而能够防止粘着。另外，由于弹性体能够进行弹性变形，所以不会阻碍振动能量的交换。因此，能够提供可提高可靠性的陀螺传感器。

另外，在本发明所涉及的记载中，在将“上方”这一词汇使用在，例如在“特定的物体（以下，成为“A”）的“上方”形成其他的特定的物体（以下，称为“B”）”等的情况下，作为包括在A上直接地形成B的情况和在A上经由其它物体而形成B的情况的含义，而使用“上方”这一词汇。

另外，在本发明所涉及的记载中，“俯视观察”这一词汇被用作，表示“从基体中的设置有陀螺传感器的基面的法线方向观察时的俯视观察”的含义的词汇。

［应用例2］

在本应用例所涉及的陀螺传感器中，也可以采用如下方式，即，

所述振动体还具有，对所述第1振动体及第2振动体进行连结的、其他的所述连结弹簧部以及其他的所述弹性体。

根据这样的陀螺传感器，能够提供一种在两个振动体以反相而进行振动的驱动系统中，在不妨碍相互之间的振动能量的交换的条件下防止了粘着的陀螺传感器。

［应用例3］

在本应用例所涉及的陀螺传感器中，也可以采用如下方式，即，

所述弹性体为，在沿着所述第1轴的方向上进行变形的板状部件。

根据这样的陀螺传感器，能够提供一种在两个振动体以反相而进行振动的驱动系统中，在不妨碍相互之间的振动能量的交换条件下更可靠地防止了粘着的陀螺传感器。

［应用例4］