[发明专利]陀螺传感器、电子设备以及移动体

权利要求书

1.一种陀螺传感器，包括：

基体；

振动体；

第1固定部以及第2固定部，其被设置在所述基体上；

弹簧部，其从所述第1固定部起到所述振动体为止在沿着第1轴的方向上延伸；

驱动部，其对所述振动体进行激励；

检测部，其被设置在所述振动体上，

所述振动体在俯视时具有：

第1振动体和第2振动体，其在沿着所述第1轴的方向上被并排设置，且相互反相地进行驱动振动；

连结弹簧部，其在沿着所述第1轴的方向上，对所述第1振动体和第2振动体进行连结，

第1弹性体，其从所述连结弹簧部起，在沿着与所述第1轴交叉的第2轴的方向上延伸，并被固定在所述第2固定部上，

所述第1弹性体具备，从所述连结弹簧部起在沿着所述第2轴的方向上延伸的第1延伸部、以及从所述第1延伸部起折回后再向所述连结弹簧部侧延伸的第2延伸部。

2.一种陀螺传感器，包括：

基体；

振动体；

第1固定部以及第2固定部，其被设置在所述基体上；

弹簧部，其从所述第1固定部起到所述振动体为止在沿着第1轴的方向上延伸；

驱动部，其对所述振动体进行激励；

检测部，其被设置在所述振动体上，

所述振动体在俯视时具有：

第1振动体和第2振动体，其在沿着所述第1轴的方向上被并排设置，且相互反相地进行驱动振动；

连结弹簧部，其在沿着所述第1轴的方向上，对所述第1振动体和第2振动体进行连结，

第1弹性体，其从所述连结弹簧部起，在沿着与所述第1轴交叉的第2轴的方向上延伸，并被固定在所述第2固定部上，

所述第1弹性体具备，从所述连结弹簧部起在沿着所述第2轴的方向上延伸的第1延伸部、以及从所述第1延伸部起在沿着所述第1轴的方向上进行往返的同时在沿着所述第2轴的方向上进行延伸的第3延伸部。

3.如权利要求1或2所述的陀螺传感器，其中，

所述振动体具备，对所述第1振动体和第2振动体进行连结的其他的所述连结弹簧部以及其他的所述第1弹性体。

4.如权利要求1或2所述的陀螺传感器，其中，

所述第1弹性体为，在沿着所述第1轴的方向上进行变形的板状部件。

5.如权利要求1或2所述的陀螺传感器，其中，

在设所述连结弹簧部的、从所述第1弹性体进行延伸的延伸位置起到所述第1振动体为止的弹簧常数为第1弹簧常数，从所述延伸位置起到所述第2振动体为止的弹簧常数为第2弹簧常数的情况下，

所述第1弹性体以使所述第1弹簧常数与所述第2弹簧常数相等的方式而配置。

6.如权利要求1或2所述的陀螺传感器，其中，

所述第1弹性体的、沿着所述第1轴的方向上的弹簧常数，小于所述连结弹簧部的、沿着所述第1轴的方向上的弹簧常数。

7.如权利要求1或2所述的陀螺传感器，其中，

所述基体上设置有第3固定部，

所述连结弹簧部具备所述第1弹性体进行延伸的第1侧面、和与所述第1侧面为相反侧的第2侧面，

所述陀螺传感器还具备，从所述第2侧面起延伸并被固定在所述第3固定部上的第2弹性体。

8.如权利要求7所述的陀螺传感器，其中，

所述第2弹性体在所述连结弹簧部的、所述第1弹性体进行延伸的延伸位置上延伸。

9.如权利要求7所述的陀螺传感器，其中，

所述第1弹性体以及/或者第2弹性体的宽度为0.01μm以上、12μm以下。

10.一种电子设备，其包括权利要求1或2所述的陀螺传感器。

11.一种移动体，其包括权利要求1或2所述的陀螺传感器。