[发明专利]挠性件及其制造方法、磁头折片组合以及磁盘驱动器

权利要求书

1.一种挠性件，适用于磁头折片组合的悬臂件，包括衬底层、形成于所述衬底层上的介电层、形成于所述介电层上的导电层以及覆盖所述导电层的绝缘保护层，其特征在于：所述绝缘保护层的表面开设有至少一窗口以暴露所述导电层的一部分，一抗静电粘合剂粘接于所述窗口的至少一侧壁并与所述导电层接触,且所述导电层接地；所述抗静电粘合剂由导电聚合物、金属粒子、金属氧化物或碳材料制得，且所述导电聚合物包括聚苯胺、聚吡咯、聚对苯二胺、聚噻吩、聚苯乙烯磺酸及其衍生物，所述抗静电粘合剂的电阻为10⁵-10⁷欧姆。

2.如权利要求1所述的挠性件，其特征在于：所述窗口的长度为200微米～600微米。

3.如权利要求2所述的挠性件，其特征在于：所述窗口的长度为300微米～400微米。

4.如权利要求1所述的挠性件，其特征在于：所述窗口的形状是三角形、正方形、长方形、圆形或不规则形状。

5.如权利要求1所述的挠性件，其特征在于：所述碳材料包括碳纤维、碳纳米管及碳粉。

6.一种挠性件的制造方法，包括以下步骤：

提供一衬底层；

在所述衬底层上形成一介电层；

在所述介电层上形成一导电层；

在所述导电层上形成一绝缘保护层；

在所述绝缘保护层的表面开设至少一窗口，以暴露所述导电层的一部分；

粘接一抗静电粘合剂至所述窗口的至少一侧壁，且所述抗静电粘合剂与所述导电层接触,且所述导电层接地；所述抗静电粘合剂由导电聚合物、金属粒子、金属氧化物或碳材料制得，且所述导电聚合物包括聚苯胺、聚吡咯、聚对苯二胺、聚噻吩、聚苯乙烯磺酸及其衍生物，所述抗静电粘合剂的电阻为10⁵-10⁷欧姆。

7.如权利要求6所述的制造方法，其特征在于：所述窗口由机械加工法或化学蚀刻法形成。

8.如权利要求6所述的制造方法，其特征在于：所述抗静电粘合剂由浸渍法或喷涂法形成。

9.如权利要求6所述的制造方法，其特征在于：所述窗口的长度为200微米～600微米。

10.如权利要求9所述的制造方法，其特征在于：所述窗口的长度为300微米～400微米。

11.如权利要求6所述的制造方法，其特征在于：所述窗口的形状是三角形、正方形、长方形、圆形或不规则形状。

12.如权利要求6所述的制造方法，其特征在于：所述碳材料包括碳纤维、碳纳米管及碳粉。

13.一种磁头折片组合，包括挠性件、支撑所述挠性件的负载杆、基板以及连接所述负载杆及所述基板的枢接件，所述挠性件包括衬底层、形成于所述衬底层上的介电层、形成于所述介电层上的导电层以及覆盖所述导电层的绝缘保护层，其特征在于：所述绝缘保护层的表面开设有至少一窗口以暴露所述导电层的一部分，一抗静电粘合剂粘接于所述窗口的至少一侧壁并与所述导电层接触,且所述导电层接地；所述抗静电粘合剂由导电聚合物、金属粒子、金属氧化物或碳材料制得，且所述导电聚合物包括聚苯胺、聚吡咯、聚对苯二胺、聚噻吩、聚苯乙烯磺酸及其衍生物，所述抗静电粘合剂的电阻为10⁵-10⁷欧姆。

14.一种磁盘驱动器，包括磁头折片组合、与所述磁头折片组合相连的驱动臂、磁盘以及旋转所述磁盘的主轴马达，所述磁头折片组合包括挠性件、支撑所述挠性件的负载杆、基板以及连接所述负载杆及所述基板的枢接件，所述挠性件包括衬底层、形成于所述衬底层上的介电层、形成于所述介电层上的导电层以及覆盖所述导电层的绝缘保护层，其特征在于：所述绝缘保护层的表面开设有至少一窗口以暴露所述导电层的一部分，一抗静电粘合剂粘接于所述窗口的至少一侧壁并与所述导电层接触,且所述导电层接地；所述抗静电粘合剂由导电聚合物、金属粒子、金属氧化物或碳材料制得，且所述导电聚合物包括聚苯胺、聚吡咯、聚对苯二胺、聚噻吩、聚苯乙烯磺酸及其衍生物，所述抗静电粘合剂的电阻为10⁵-10⁷欧姆。